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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

當(dāng)前位置：深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司>>其他前道工藝設(shè)備>>10 其他>> IVG-2020/3020半自動單軸減薄機(jī)

半自動單軸減薄機(jī)

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號IVG-2020/3020

品牌特思迪

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地深圳市

更新時(shí)間：2024-08-13 10:40:39瀏覽次數(shù)：208次

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半自動單軸減薄機(jī)是一款操作簡單、功能豐富、性價(jià)比高的高精度研削設(shè)備，采用手動裝片方式，配置自動厚度測量和補(bǔ)償系統(tǒng)，可自動研削至目標(biāo)值。工作臺可根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制化，應(yīng)用廣泛。

半自動單軸減薄機(jī)是一款操作簡單、功能豐富、性價(jià)比高的高精度研削設(shè)備，采用手動裝片方式，配置自動厚度測量和補(bǔ)償系統(tǒng)，可自動研削至目標(biāo)值。工作臺可根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制化，應(yīng)用廣泛。

功能全面

自動厚度測量 多段研削程序 超負(fù)載等待

操作靈活

人工取放片 干進(jìn)濕出

兼容性好

可磨削各類半導(dǎo)體材料 適應(yīng)2-12英寸晶圓減薄




性能參數(shù)

項(xiàng)目IVG-2020IVG-3020
最大晶圓尺寸8 英寸12 英寸
砂輪規(guī)格?203(OD)mm?303(OD)mm
砂輪軸功率6.0kW9.5kW
砂輪軸轉(zhuǎn)速范圍0~6000 RPM0~4000 RPM
工作臺轉(zhuǎn)速0~380 RPM0~380 RPM
Z軸進(jìn)給速度0.1~1000 um /sec0.1~1000 um /sec
厚度在線測量范圍（OMM）0-4800um0-4800um
厚度在線測量重復(fù)精度±0.001 mm±0.001 mm
NCG非接觸實(shí)時(shí)測厚系統(tǒng)可選配可選配




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