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數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器

數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號 CS200-A型
  • 品牌 其他品牌
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 北京市

更新時間:2020-06-20 09:33:59瀏覽次數(shù):5699

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產(chǎn)品簡介
應(yīng)用領(lǐng)域 綜合
CS200-A型數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器,采用*傳感器和溫度補償技術(shù),因此產(chǎn)品精度可以達到設(shè)定值1%以內(nèi),并且低溫度系數(shù)可以保證產(chǎn)品適應(yīng)不同的環(huán)境溫度。同時,產(chǎn)品采用高速控制算法使整個流量計的響應(yīng)時間方面更加岀色。全量程范圍內(nèi),CS200C產(chǎn)品*快可在800ms以內(nèi)達到設(shè)定流量,響應(yīng)時間將使用過程中產(chǎn)生的系統(tǒng)誤差小化,所需流量更加精準。

CS200質(zhì)量流量控制器&流量計

CS200-A型數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器,采用*傳感器和溫度補償技術(shù),因此產(chǎn)品精度可以達到設(shè)定值1%以內(nèi),并且低溫度系數(shù)可以保證產(chǎn)品適應(yīng)不同的環(huán)境溫度。同時,產(chǎn)品采用高速控制算法使整個流量計的響應(yīng)時間方面更加岀色。全量程范圍內(nèi),CS200C產(chǎn)品*快可在800ms以內(nèi)達到設(shè)定流量,響應(yīng)時間將使用過程中產(chǎn)生的系統(tǒng)誤差小化,所需流量更加精準。

優(yōu)勢

• 采用的恒功率傳感器原理,在溫度變化時進行相應(yīng)的補償,從根本上抑制了流量計的零漂現(xiàn)象,保證了傳感器線性。

• CS200C產(chǎn)品采用專門的金屬表面處理技術(shù),與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV,CS200C產(chǎn)品金屬表面粗糙度更可達10RA以下,CS200D產(chǎn)品金屬表面粗糙度可達25RA。

• CS200產(chǎn)品嚴格按照SEMI標準生產(chǎn)制造,尺寸符合通用的SEMI標準。

• CS200系列產(chǎn)品支持±8V~±16V雙電源, +14V~+28V單電源供電;數(shù)字,模擬輸入輸出。

• 產(chǎn)品支持RS485,DeviceNet通訊方式。

• 具有多氣體多量程功能、自動歸零功能、報警功能、軟啟動功能、延遲功能及功能強大的免費客戶端使用軟件。

CS200-A型數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù):

CS200

型號

CS200-A

CS200-C

CS200-D

閥類型

常開(流量規(guī)格 ≤ 30SLM)
或常閉

常開或常閉

常開或常閉

流量規(guī)格(N2)

(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0~1,2,3,5,10,20,30,50) SLM

(0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

準確度

±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
±0.35% F.S.(<35% F.S.)

線性

±0.5% F.S.

重復(fù)精度

±0.2% F.S.

響應(yīng)時間

≤ 1sec

≤ 0.8sec

工作壓差范圍

0.05~0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM
0.1~0.35MPa 10<流量規(guī)格≤30SLM
0.2~0.45MPa 30<流量規(guī)格≤50SLM

<0.02 MPa

0.05~0.35MPa
流量規(guī)格≤10SLM
0.1~0.35MPa
流量規(guī)格>10SLM

<0.02 MPa

0.05~0.35MPa
流量規(guī)格≤10SLM
0.1~0.35MPa
流量規(guī)格>10SLM

<0.02 MPa

大工作壓力

0.45MPa

溫度系數(shù)

零點: ≤±0.05% F.S./℃;
調(diào)節(jié)時: ≤±0.1% F.S./℃ 流量規(guī)格≤30SLM
調(diào)節(jié)時: ≤±0.2% F.S./℃ 流量規(guī)格>30SLM

零點: ≤±0.02% F.S./℃;
調(diào)節(jié)時: ≤±0.05% F.S./℃

耐壓強度

3MPa

漏率

1×10-10 Pa·m3 / sec He

1×10-11 Pa·m3 / sec He

密封材料

氟橡膠

金屬密封

工作環(huán)境溫度

(5~45)℃

(0~50)℃

輸入信號

數(shù)字: RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus
模擬:(0~5)VDC 或(4~20)mA 或(0~20)mA

數(shù)字: RS485
或DeviceNet
或 ProfiBus
模擬:(0~5)VDC
或(4~20)mA
或(0~20)mA

數(shù)字: RS485
或DeviceNet
或 ProfiBus
模擬:(0~5)VDC
或(4~20)mA
或(0~20)mA

輸出信號

數(shù)字::RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus
模擬:(0~5)VDC 或(4~20)mA 或(0~20)mA

零漂

在沒有零點校正時<0.6%F.S./年

電源

±8 ~ ±16 VDC (雙極)或 +14 ~ +28 VDC (單極)

表面化學(xué)成分

常態(tài)

Cr/Fe 比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥ 20 (埃)

常態(tài)

表面粗糙度

25 Ra

10 Ra

25 Ra

標準接頭形式

雙卡套 φ6;雙卡套 1/4´´;雙卡套 3/8´´;VCR1/4´´陽接頭;雙卡套φ3;
雙卡套 1/8´´;VCO 1/4";φ6(內(nèi))x1 軟管接頭; φ5(內(nèi))x1.5 軟管接頭;
φ4(內(nèi))x1 軟管接頭;雙卡套φ10mm;A 型密封接頭;

雙卡套φ3;雙卡套φ6;雙卡套 1/4;VCR1/4 陽接頭;
1.5´´C 型密封接頭;1.5´´ W型密封接頭

電源接頭形式

D 型 9 針陽接頭;D 型 15 針陽接頭;DeviceNet 接頭; ProfiBus 接頭;模擬接頭

重量

1 Kg

0.8Kg

1.2Kg

1Kg

1.2Kg

1Kg

 


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