| 北京華丞電子有限公司 |
18610520662
在線溝通：
CS300氣體質量流量控制器
| 參考價 | 面議 |
- 型號
- 品牌 七星華創(chuàng)
- 廠商性質 生產商
- 所在地 北京市
更新時間：2020-06-20 09:43:44瀏覽次數(shù)：5846
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息，謝謝!
| 產地類別 | 國產 | 產品種類 | 質量式 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 介質分類 | 氣體 |
| 應用領域 | 綜合 |
CS300氣體質量流量控制器是七星流量計專門為大規(guī)模集成電路裝備設計的產品，該產品在原有CS200氣體質量流上，采用了基于DF的壓力信號補小償算法，全量控制器的基礎新的金屬表面處理工藝，產品各項技術指標均嚴格按照SEM標準，支持Ⅵ型，C型GS氣路系統(tǒng)。
CS300氣體質量流量控制器優(yōu)勢：
• 準確度采用設定點精度，產品精度可達±1.0% S.P.，響應時間*快≤ 0.5sec。
• CS300系列產品可帶有壓力補償功能，對前段氣體壓力的擾動進行有效的補償，減少壓力變化對瞬時流量影響，從而保證產品工作的穩(wěn)定性和準確性。
• 采用的恒功率傳感器原理，在溫度變化時進行相應的補償，從根本上抑制了流量計的零漂現(xiàn)象，保證了傳感器線性。
• 產品采用專門的金屬表面處理技術，與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV，CS300C產品金屬表面粗糙度更可達5RA以下，嚴格按照SEMI標準生產制造。
技術參數(shù)
CS300 | ||||||||
型號 | CS310C | CS320C | CS310D | CS320D | ||||
閥類型 | 常開或常閉 | 無 | 常開或常閉 | 無 | 常開或常閉 | 無 | 常開或常閉 | 無 |
流量規(guī)格(N2) | (0～1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | |||||||
準確度 |
| |||||||
線性 | ±0.5% F.S. | |||||||
重復精度 | ±0.2% F.S. | |||||||
響應時間 | ≤ 0.8sec （≤ 0.5sec optional） | |||||||
工作壓差范圍 | 0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM | ＜0.02 MPa | 0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM | ＜0.02 MPa | 0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM | ＜0.02 MPa | 0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM | ＜0.02 MPa |
溫度系數(shù) | 零點：≤±0.02% F.S./℃；調節(jié)時：≤±0.05% F.S./℃ | |||||||
耐壓 | 3.5 MPa | |||||||
漏率 | 1×10-11 Pa·m3 / sec He | |||||||
密封材料 | 金屬密封 | |||||||
大工作壓力 | 0.45MPa | |||||||
工作環(huán)境溫度 | （0～50）℃ | |||||||
輸入信號 | 數(shù)字：RS485 或 DeviceNet | 無 | 數(shù)字：RS485 或 DeviceNet | 無 | 數(shù)字：RS485 或 DeviceNet | 無 | 數(shù)字：RS485 或 DeviceNet | 無 |
輸出信號 | 數(shù)字：RS485 或 DeviceNet | |||||||
零漂 | 在沒有零點校正時＜0.6%F.S./年 | |||||||
電源 | ±8～±16 VDC (雙極) 或 +14～+28 VDC (單極) | |||||||
表面化學成分 | Cr/Fe比例≥2.0；CrO 厚度≥20 （埃） | - | ||||||
表面粗糙度 | Ra 5μinch | |||||||
標準接頭形式 | VCR1/4陽接頭； | 1.5″B型密封接頭 | VCR1/4陽接頭； | 1.5″B型密封接頭 | ||||
電源接頭形式 | D型9針陽接頭；D型15針陽接頭；DeviceNet接頭 | |||||||
重量 | 1 Kg | 0.8Kg | 1.2Kg | 1Kg | 1 Kg | 0.8Kg | 1.2Kg | 1Kg |
以上信息由企業(yè)自行提供，信息內容的真實性、準確性和合法性由相關企業(yè)負責，化工儀器網對此不承擔任何保證責任。 溫馨提示：為規(guī)避購買風險，建議您在購買產品前務必確認供應商資質及產品質量。