CS330質(zhì)量流量控制器是七星華創(chuàng)流量計新研發(fā)的數(shù)字型產(chǎn)品，*高流量可達200SLM氮氣，并可實現(xiàn)數(shù)字/模擬控制模式；產(chǎn)品采用了新型全金屬密封結(jié)構(gòu)形式、大流量、低壓損電磁調(diào)節(jié)閥、以及*的人工智能機器人金屬表面拋光技術(shù)，可用于測量各種氣體的流量，包括惰性氣體、強腐蝕性氣體、易燃易爆等危險性氣體。產(chǎn)品具備精度高、響應(yīng)速度快、低零漂、低溫漂性能等優(yōu)點，并支持DeviceNet，RS485通訊協(xié)議。

CS330質(zhì)量流量控制器&流量計

CS330產(chǎn)品是七星華創(chuàng)流量計新研發(fā)的數(shù)字型產(chǎn)品，*高流量可達200SLM氮氣，并可實現(xiàn)數(shù)字/模擬控制模式；產(chǎn)品采用了新型全金屬密封結(jié)構(gòu)形式、大流量、低壓損電磁調(diào)節(jié)閥、以及*的人工智能機器人金屬表面拋光技術(shù)，可用于測量各種氣體的流量，包括惰性氣體、強腐蝕性氣體、易燃易爆等危險性氣體。產(chǎn)品具備精度高、響應(yīng)速度快、低零漂、低溫漂性能等優(yōu)點，并支持DeviceNet，RS485通訊協(xié)議。

優(yōu)勢

• 新型的金屬密封結(jié)構(gòu)形式。該密封結(jié)構(gòu)形式具有密封可靠、裝配工藝簡單、耐腐蝕等優(yōu)勢，廣泛適用于各類氣體流量的測量。
• 體積小、零漂小、抗干擾能力強的傳感器。該傳感器采用上、下游對稱性結(jié)構(gòu)設(shè)計，從而保證了傳感器的零漂小;傳感器內(nèi)部設(shè)有保溫棉，極大程度降低了環(huán)境溫度對傳感器的影響，從而提高了傳感器的抗干擾能力，確保了氣體流量檢測的精度。
• *的人工智能機器人表面拋光技術(shù)。CS330系列產(chǎn)品金屬表面粗糙度可達0.1RA，嚴格按照SEMI標準生產(chǎn)制造。
• CS330系列產(chǎn)品支持±8V~±16V雙電源或者+14V~+28V單電源供電;支持數(shù)字，模擬輸入輸出。
• CS330系列產(chǎn)品支持多種電氣接口，包括DB9、DB15、DeviceNet(側(cè)部、頂部);支持RS485，DeviceNet通訊方式。

CS330質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)

CS330C、D
型號	CS330C、D
閥類型	常閉	無
流量規(guī)格(N2)	(100,200) SLM
準確度	±1.0% S.P. (＞35% F.S.)      ±0.35% F.S. (≤35% F.S.)
線性	±0.5% F.S.
重復(fù)精度	±0.2% F.S.
響應(yīng)時間	≤ 1 sec
工作壓差范圍	100 ~ 300  KPa （50＜F≤100SLM） 200 ~ 300  KPa （100＜F≤200SLM）
溫度系數(shù)	零點: ≤±0.02% F.S./℃；調(diào)節(jié)時：≤±0.1% F.S./℃
大工作壓差	1 MPa
耐壓	3 MPa  (435pisg)
漏率	5 x 10-12 Pa·m3/ sec He （5 x 10-11 atm.cc/sec He）
密封材料	金屬
工作環(huán)境溫度	（0～50）℃
輸入信號	數(shù)字: RS485或 DeviceNetTM 模擬:(0～5)VDC或(4～20)mA	無
輸出信號	數(shù)字:RS485或 DeviceNetTM 模擬:(0～5)VDC或(4～20)mA
零漂	在沒有零點校正時＜0.6%F.S./年
電源	±8 ～ ±16 VDC (雙極)或 +14 ～ +28VDC (單極)
表面化學(xué)成分	常態(tài)
標準接頭形式	VCR 1/2´´
電源接頭形式	D型9針陽接頭；D型15針陽接頭；DeviceNet 接頭
重量	2.6 Kg		1.5 Kg