您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)！ 登錄| 免費(fèi)注冊(cè)| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)！ 登錄| 免費(fèi)注冊(cè)| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
19270304869
當(dāng)前位置：玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司>>ULVAC愛發(fā)科>>蝕刻設(shè)備>> RISETM-300日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體間自然氧化蝕刻設(shè)備
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)RISETM-300
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地深圳市
更新時(shí)間：2024-11-25 14:41:19瀏覽次數(shù)：40次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 化工儀器網(wǎng)
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體間自然氧化蝕刻設(shè)備
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體光電干法刻蝕設(shè)備
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備研發(fā)
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,綜合 |
|---|
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體間自然氧化蝕刻設(shè)備
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體間自然氧化蝕刻設(shè)備
間歇式自然氧化膜去除設(shè)備RISE TM -300是一種間歇式預(yù)清洗設(shè)備，可以去除LSI深接觸底部等難處理的自然氧化膜。兼容300mm目標(biāo)晶圓。
實(shí)現(xiàn)高吞吐量和低 CoO
良好的蝕刻均勻性（< ±5%/批次）和再現(xiàn)性
干法
無損壞（遠(yuǎn)程等離子體和低溫工藝）
與傳統(tǒng)濕法工藝相比，自對(duì)準(zhǔn)接觸電阻降低至 1/2
設(shè)備布局靈活
強(qiáng)調(diào)可維護(hù)性
50 300mm晶圓批量加工
用于形成自對(duì)準(zhǔn)觸點(diǎn)的預(yù)處理
電容器形成過程中的預(yù)處理
外延生長(zhǎng)過程中的預(yù)處理
| 模型 | RISETM-300 | |
| 等離子源 | 微波電源 | |
| 設(shè)備配置 | EFEM + LL + PM | |
| 板尺寸 | Φ300mm | |
| 板臺(tái) | 陶瓷舟（50只/批） | |
| 排氣系統(tǒng) | 機(jī)械增壓泵+DRP | |
| 控制系統(tǒng) | FAPC+TFT觸摸屏 | |
| 氣體導(dǎo)入系統(tǒng) | 3個(gè)系統(tǒng) | |
| 應(yīng)用 | SAC、電容器和外延生長(zhǎng)過程中的預(yù)處理 | |
特別提示：商品詳情頁中（含主圖）以文字或者圖片形式標(biāo)注的搶購(gòu)價(jià)等價(jià)格可能是在特定活動(dòng)時(shí)段下的價(jià)格，商品的具體價(jià)格以訂單結(jié)算頁價(jià)格為準(zhǔn)或者是您與商家聯(lián)系后協(xié)商達(dá)成的實(shí)際成交價(jià)格為準(zhǔn)；如您發(fā)現(xiàn)活動(dòng)商品價(jià)格或活動(dòng)信息有異常，建議購(gòu)買前先咨詢商家。
請(qǐng)輸入賬號(hào)
請(qǐng)輸入密碼
請(qǐng)輸驗(yàn)證碼
以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，化工儀器網(wǎng)對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。
溫馨提示：為規(guī)避購(gòu)買風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購(gòu)買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。
化工儀器網(wǎng)