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日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體光電干法刻蝕設(shè)備返回列表頁

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號NLD-5700

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廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地深圳市

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更新時間：2024-11-25 14:29:55瀏覽次數(shù)：35次

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產(chǎn)品分類品牌分類

ULVAC愛發(fā)科: 愛發(fā)科真空泵熱處理設(shè)備凍結(jié)真空干燥裝置真空爐離子注入機(jī) 蝕刻設(shè)備灰化裝置真空沉積設(shè)備化學(xué)氣相沉積設(shè)備濺射設(shè)備

全部產(chǎn)品列表

產(chǎn)品簡介

價格區(qū)間	面議	應(yīng)用領(lǐng)域	醫(yī)療衛(wèi)生,化工,綜合

日本ULVAC愛發(fā)科NLD-5700半導(dǎo)體光電干法刻蝕設(shè)備
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體光電干法刻蝕設(shè)備

詳情介紹

日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體光電干法刻蝕設(shè)備

用于光電器件和MEMS的
干法刻蝕設(shè)備NLD-5700

用于光器件和MEMS的NLD-5700干法刻蝕系統(tǒng)是配備磁中性線等離子體（NLD）源的用于大規(guī)模生產(chǎn)的干法刻蝕系統(tǒng)。（采用磁中性線等離子體（NLD）的低壓、低電子溫度、高密度等離子體的干式蝕刻設(shè)備，由ULVAC原創(chuàng)開發(fā)。）

特征

通過在潔凈室內(nèi)工作，潔凈室可以擴(kuò)展到兩個房間（NLD、磁場ICP、CCP和灰化室）。
NLD是一種可以在空間和時間上控制的等離子體，因此干洗很容易。
實現(xiàn)輕松的腔室維護(hù)。
我們提供從掩模蝕刻到石英和玻璃蝕刻的工藝解決方案。
半導(dǎo)體技術(shù)研究院提供完善的工藝支持系統(tǒng)。

用途

光學(xué)器件（衍射光柵、調(diào)制器、光波導(dǎo)、光開關(guān)等）、不均勻微透鏡。
流體路徑創(chuàng)建 (μ-TAS) 和光子晶體。

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