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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

當(dāng)前位置：深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司>>半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備>>3 CVD>> AIX G5 WW C化合物半導(dǎo)體沉積系統(tǒng)

化合物半導(dǎo)體沉積系統(tǒng)

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)AIX G5 WW C

品牌愛思強(qiáng)

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地德國

更新時(shí)間：2024-08-13 11:12:18瀏覽次數(shù)：187次

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化合物半導(dǎo)體沉積系統(tǒng)AIX G5 WW C“下一代碳化硅電力電子器件的最佳性能，以應(yīng)對全球大趨勢"高吞吐量批量外延與單晶圓控制 - 兩全其美。

主要優(yōu)點(diǎn)

  • 吞吐量和每片晶圓擁有成本

  • 批量配置中的單片性能，可實(shí)現(xiàn)出色的外延層質(zhì)量

  • 兼容硅晶圓廠的自動(dòng)化技術(shù)支持碳化硅電源市場加速增長

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 帶熱晶圓轉(zhuǎn)移的行星式反應(yīng)器

  • 在生長室中高效利用氣體

  • 晶圓級(jí)溫度控制

  • 晶圓盒到晶圓盒處理

  • 快速外延處理

  • 8x150 mm 配置，單晶圓旋轉(zhuǎn)

  • AutoSat功能，確保批次內(nèi)的均勻性

  • SECS-GEM工廠接

主要優(yōu)點(diǎn)

  • 吞吐量和每片晶圓擁有成本

  • 批量配置中的單片性能，可實(shí)現(xiàn)出色的外延層質(zhì)量

  • 兼容硅晶圓廠的自動(dòng)化技術(shù)支持碳化硅電源市場加速增長

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 帶熱晶圓轉(zhuǎn)移的行星式反應(yīng)器

  • 在生長室中高效利用氣體

  • 晶圓級(jí)溫度控制

  • 晶圓盒到晶圓盒處理

  • 快速外延處理

  • 8x150 mm 配置，單晶圓旋轉(zhuǎn)

  • AutoSat功能，確保批次內(nèi)的均勻性

  • SECS-GEM工廠接口





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