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當(dāng)前位置：深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司>>半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備>>3 CVD>> Polaris系列12英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)
| 參 考 價: | 面議 |
產(chǎn)品型號Polaris系列
品牌北方華創(chuàng)
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所在地北京市
更新時間：2024-09-05 15:54:13瀏覽次數(shù)：248次
聯(lián)系我時，請告知來自 化工儀器網(wǎng)1. 產(chǎn)品概述
Polaris系列 12英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)，磁控濺射源和腔室結(jié)構(gòu)的設(shè)計有效提高靶材利用率。
2. 設(shè)備用途/原理
Polaris系列 12英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)，磁控濺射源和腔室結(jié)構(gòu)的設(shè)計有效提高靶材利用率，靈活的腔室配置，針對先進(jìn)封裝域優(yōu)化、穩(wěn)定的傳輸系統(tǒng)，兼容玻璃片、翹曲片、鍵合片等多種類型基片傳輸，穩(wěn)定并且低的Rc表現(xiàn)，良好的顆粒和應(yīng)力控制能力，優(yōu)化的工藝流程帶來大產(chǎn)能表現(xiàn)，低運營成本。
3. 設(shè)備特點
晶圓尺寸 12英寸，適用材料 銅、鈦、氮化鈦、鉭、氮化鉭、鎢化鈦、金、鋁等，適用工藝 電、先進(jìn)封裝中的UBM/RDL，適用域 新興應(yīng)用、先進(jìn)封裝。
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