1. 產(chǎn)品概述

Satur系列 多片式MOCVD系統(tǒng)，優(yōu)異的均勻性、一致性、穩(wěn)定性控制，MOCVD 即金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積，是一種用于生長(zhǎng)化合物半導(dǎo)體薄膜的技術(shù)。它通過(guò)將Ⅲ族元素的有機(jī)化合物和氨氣或氧氣等作為晶體生長(zhǎng)源材料，以熱分解反應(yīng)方式在襯底上進(jìn)行氣相外延，生長(zhǎng)各種化合物半導(dǎo)體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料。

2. 設(shè)備用途/原理

Satur系列 多片式MOCVD系統(tǒng)，優(yōu)異的均勻性、一致性、穩(wěn)定性控制，盒對(duì)盒全自動(dòng)傳輸系統(tǒng)，先進(jìn)的實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)，友好界面與配方編輯功能，滿足 SEMI S2 安全標(biāo)準(zhǔn)。

3. 設(shè)備特點(diǎn)

晶圓尺寸 4、6、8 英寸，沉積材料 氮化鎵、砷化鎵、磷化銦。適用材料 硅、碳化硅、氧化鋁、砷化鎵、磷化銦。適用領(lǐng)域 科研、集成電路、化合物半導(dǎo)體。