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當(dāng)前位置：深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司>>半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備>>4 外延系統(tǒng)>> SES系列8英寸多片硅外延系統(tǒng)
| 參 考 價(jià): | 面議 |
產(chǎn)品型號SES系列
品牌北方華創(chuàng)
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所在地北京市
更新時(shí)間：2024-09-05 11:25:47瀏覽次數(shù)：208次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 化工儀器網(wǎng)1. 產(chǎn)品概述
SES系列 8英寸多片硅外延系統(tǒng)為單腔多片式硅外延設(shè)備，適用于4、5、6、8英寸的硅外延工藝。SES系列反應(yīng)腔室采用多片平板式的結(jié)構(gòu)，配合感應(yīng)加熱的方式實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的外延薄膜生長，適用于厚度5-150µm范圍的外延工藝，精確可調(diào)N型、P型摻雜。該設(shè)備智能化人機(jī)交互設(shè)計(jì)與高效的安全互鎖保障了系統(tǒng)安全和穩(wěn)定。
2. 設(shè)備用途/原理
SES系列 8英寸多片硅外延系統(tǒng)，適用于 5-150 微米范圍的硅外延工藝，先進(jìn)的感應(yīng)加熱和氣流場技術(shù)提供了優(yōu)良穩(wěn)定的工藝性能，多片平板式設(shè)計(jì)，高容載量，自動(dòng)化程度高、產(chǎn)能高、低運(yùn)營成本。
3. 設(shè)備特點(diǎn)
晶圓尺寸 4、5、6、8 英寸，適用材料 硅，適用工藝 N&P 硅外延，適用域 科研、集成電路。
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