目錄:上海波銘科學(xué)儀器有限公司>>光譜系統(tǒng)>>顯微缺陷膜厚>> 高速相位差測量裝置 RE-200
● 相位差(ρ[deg.], Re[nm])
● 主軸方位角(θ[deg.])
● 橢圓率(ε)?方位角(γ)
● 三次元折射率(NxNyNz)
● 位相差膜、偏光膜、橢圓膜、視野角改善膜、各種功能性膜
● 樹脂、玻璃等透明、非均質(zhì)材料(玻璃有變形,歪曲等)
● 什么是RE-200
● RE-200是光子結(jié)晶素子(偏光素子)、CCD相機(jī)構(gòu)成的偏光計(jì)測模塊和透過的偏光光學(xué)系相組合,可高速且高精度的測量位相差(相位差)、及主軸方位角。CCD相機(jī)1次快門獲取偏光強(qiáng)度模式,沒有偏光子旋轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu),系統(tǒng)整體上是屬于小型構(gòu)造,長時(shí)間使用也能維持穩(wěn)定的性能。
執(zhí)行擬合/傅立葉變換以計(jì)算橢圓度 ε 和方位角 γ。
型號 | RE series |
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樣品尺寸 | 最小10×10mm ~最大100×100mm |
測量波長 | 550nm (標(biāo)準(zhǔn)仕樣)※1 |
相位差測量范圍 | 約0nm ~約1μm |
軸檢出重復(fù)精度 | 0.05°(at 3σ) ※2 |
檢出器 | 偏光計(jì)測模塊 |
測量光斑直徑 | 2.2mm×2.2mm |
光源 | 100W 鹵素?zé)艋?LED光源 |
本體?重量 | 300(W) × 560(H) ×430(D) mm 、約20kg |
Option
● Rth測量、全quan方位角測量※治具本體(旋轉(zhuǎn):180°, 傾斜:±50°)
● 動(dòng)旋轉(zhuǎn)傾斜治具
視角改善膜A
視角改善膜B
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)