目錄:深圳市達(dá)瑞博電子有限公司>>量測(cè)>>電子束量測(cè)>> CG 4000臨界尺寸掃描電子顯微鏡
| 參考價(jià) | 面議 |
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更新時(shí)間：2024-09-23 20:08:53瀏覽次數(shù)：379評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 700萬(wàn)-1500萬(wàn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,綜合 |
Hitachi CG4000 臨界尺寸掃描電子顯微鏡（CD-SEM）
Hitachi CG4000是一款臨界尺寸掃描電子顯微鏡（CD-SEM）.它專(zhuān)為超精細(xì)半導(dǎo)體器件而設(shè)計(jì).
以下是一些主要規(guī)格和功能：
分辨率：1.8nm（加速電壓：800V）
重復(fù)性：±1% 或 0.3 nm （3 sigma）（采用日立標(biāo)準(zhǔn)晶圓）
晶圓尺寸：300mm（200mm）
產(chǎn)量：36 片晶圓/小時(shí)（晶圓上有 20 個(gè)測(cè)量點(diǎn)）
加速電壓：300 - 1,600 V （10V步進(jìn)） （200 - 2,000 V：可選）
它提供高分辨率、高精度的計(jì)量可重復(fù)性
它包括高精度平均 CD （ACD） 計(jì)量功能
它支持行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的線邊緣粗糙度 （LER） 計(jì)量功能
它具有改進(jìn)的可操作性和自動(dòng)維護(hù)功能
該器件被廣泛用作半導(dǎo)體工藝中CD測(cè)量的主要工具.它能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級(jí)的測(cè)量精度以及高分辨率、高精度的計(jì)量可重復(fù)性和高通量.它旨在應(yīng)對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計(jì)規(guī)則不斷縮小時(shí)對(duì)過(guò)程控制的嚴(yán)格要求.它是一款功能強(qiáng)大的工具，可提供寬加速電壓范圍、高靈敏度數(shù)字成像、電荷保護(hù)校正、能量濾波器功能、精確運(yùn)動(dòng)控制以及自動(dòng)樣品交換和聚焦.
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