目錄:深圳市達(dá)瑞博電子有限公司>>量測>>電子束量測>> S-9260A臨界尺寸掃描電子顯微鏡 （CD SEM）
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 放大倍數(shù) | 500 - 300000x |
|---|---|---|---|
| 加速電壓 | 0.3-1.6kV | 價格區(qū)間 | 700萬-1500萬 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,綜合 |
HITACHI S-9260A
臨界尺寸掃描電子顯微鏡（CD-SEM），8"晶圓形狀：SEMI或JEIDA打開盒式磁帶裝載機(jī)單元電子槍：肖特基發(fā)射源加速電壓：300 - 1600 V物鏡：加熱式活動孔徑：4孔可變掃描線圈：2級電磁偏轉(zhuǎn)圖像分辨率：30 A 時為 3 nm，0.8 Kv散光校正：8極電磁線圈放大倍率范圍：500X - 300,000X測量范圍：0.1 - 2.0 um產(chǎn)量：每小時 65 片晶圓光學(xué)顯微鏡：1.2 x 1.2 mm 黑白視圖晶圓載物臺XY 范圍：0“- 8"驅(qū)動電機(jī)：脈沖電機(jī)工作站：HP B2600操作系統(tǒng)： HP-UX 10.20軟件版本 18.35主持人：18.35SEM：18.35IPS的：18.35（4500）IPS_V： 18.35貴賓：07.21.X1階段： 02.05疏散： 02.05高功率：04.02WT：塔茲莫，IC1：05.13L;港鐵-DA1-E：05.08CD重復(fù)性模式：0.24,3Sigma：0.761模式：0.48,3Sigma：0.93模式：0.72,3Sigma：0.77模式：0.96,3Sigma：0.85一個圖案晶圓的CD測量，3Sigma：1.22電源顯示冷水機(jī)：W5010T（2） Edwards 干泵：負(fù)載鎖和試樣室
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