應(yīng)用范圍：靈活的OEM設(shè)備，用于多種不同樣品的在線壽命測(cè)量：從單晶硅到多晶硅錠，從生成態(tài)晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過(guò)程控制。標(biāo)準(zhǔn)軟件接口，易于連接到許多處理或自動(dòng)化系統(tǒng)。
在線面掃和單點(diǎn)檢測(cè)MDPlinescan是一個(gè)易于集成的OEM單元，可集成到各種自動(dòng)化的檢測(cè)線。關(guān)鍵的測(cè)量參數(shù)是實(shí)時(shí)的載流子壽命掃描。
樣品通常由測(cè)量頭下的傳送帶或機(jī)器人系統(tǒng)來(lái)輸送。應(yīng)用實(shí)例從

各種不同的樣品，從單晶硅到多晶硅，從生長(zhǎng)的晶片到加工過(guò)的晶片，都可以通過(guò)MDPlinescan使用少子壽命測(cè)量進(jìn)行檢測(cè)。硬件系統(tǒng)被靈活地安裝來(lái)執(zhí)行樣本的逐行掃描。該軟件接口便于與處理系統(tǒng)或自動(dòng)化系統(tǒng)進(jìn)行簡(jiǎn)單的連接和通信。