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EVG 520 IS Bonding-EVG 520IS晶圓鍵合
  • EVG 520 IS   Bonding-EVG 520IS晶圓鍵合

貨物所在地:北京北京市

地: 奧地利

更新時(shí)間:2024-07-27 21:00:06

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單腔或雙腔晶圓鍵合系統(tǒng),用于小批量生產(chǎn)

EVG 520 IS Wafer Bonding System

EVG 520IS晶圓鍵合系統(tǒng)

單腔或雙腔晶圓鍵合系統(tǒng),用于小批量生產(chǎn)

EVG520 IS單腔單元可半自動操作zui200 mm的晶圓,適用于小批量生產(chǎn)應(yīng)用。 EVG520 IS根據(jù)客戶反饋和EV Group的持續(xù)技術(shù)創(chuàng)新進(jìn)行了重新設(shè)計(jì),具有EV Group專有的對稱快速加熱和冷卻卡盤設(shè)計(jì)。 諸如獨(dú)立的頂側(cè)和底側(cè)加熱器,高壓鍵合能力以及與手動系統(tǒng)相同的材料和工藝靈活性等優(yōu)勢,為所有晶圓鍵合工藝的成功做出了貢獻(xiàn)。

特征

全自動處理,手動裝卸,包括外部冷卻站

兼容EVG機(jī)械和光學(xué)對準(zhǔn)器

單室或雙室自動化系統(tǒng)

全自動的邦定工藝執(zhí)行和邦定蓋移動

集成式冷卻站可實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)量

選項(xiàng):

高真空能力(1E-6毫巴)

可編程質(zhì)量流量控制器

集成冷卻

技術(shù)數(shù)據(jù):

zui大接觸力:10、20、60100 kN;                加熱器尺寸150毫米200毫米

zui小基板尺寸單芯片100毫米

真空:標(biāo)準(zhǔn):1E-5 mbar;      可選:1E-6 mbar


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