Bruker布魯克 OTESPA-R3 原子力顯微鏡探針

布魯克Bruker原子力顯微鏡探針AFM探針 輕敲模式 OTESPA R3

針尖位于測(cè)微懸臂的前端，使用者非常容易定位。

此型號(hào)為布魯克貼標(biāo)產(chǎn)品，同型號(hào)奧林巴斯OMCL-AC160TS-R3 探針。

懸臂共振頻率：300 (±100) kHz（空氣中），彈性系數(shù)：26 N/m。

針尖曲率半徑：7nm（典型值）

AL涂層。

OTESPA-R3可視探針優(yōu)點(diǎn)：

1)激光定位更容易

針尖位于懸臂的末端。探針定位更容易，特別是當(dāng)AFM和光學(xué)顯微鏡結(jié)合使用時(shí)，如使用Bioscope Resolve時(shí)。

 2)高橫向分辨率:

針尖曲率半徑對(duì)圖像分辨率有影響。四面體形狀是獲得點(diǎn)更小針尖曲率半徑的理想形狀。Otespa—R3曲率半徑很小，即使有鋁涂層，其平均曲率也小于10nm。

OTESPA探針覆蓋了廣泛的應(yīng)用范圍，但它在晶體表面、薄膜、IC器件等方面的觀察非常出色。

3)粗糙樣本的觀察:

針尖非常薄，頂錐角為35度，使用者可以看到樣品的一部分。此外，針尖是一個(gè)傾斜的角度，安裝到AFM上以后，這個(gè)角度會(huì)變小(可能是5到20度)。這對(duì)粗糙樣品同樣適用。

詳細(xì)規(guī)格： 

延展閱讀：

關(guān)于布魯克：

布魯克公司以先進(jìn)的生產(chǎn)工藝，專業(yè)的AFM領(lǐng)域背景，得天獨(dú)厚的生產(chǎn)裝備，賦予探針制造眾多的優(yōu)勢(shì)，確保在廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域中提供完整的AFM解決方案。

布魯克AFM探針制造中心*優(yōu)勢(shì)：

*Class100級(jí)別的無(wú)塵室

*先進(jìn)的設(shè)計(jì)、制造工序及制造工具

*探針設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)與AFM設(shè)備研發(fā)團(tuán)隊(duì)通力合作，配合緊密

*訓(xùn)練有素的生產(chǎn)團(tuán)隊(duì)，制造出各種型號(hào)的探針

*全面的質(zhì)量管理體系，確保探針性能

在實(shí)驗(yàn)中，用戶所得到的數(shù)據(jù)取決于探針的質(zhì)量及探針的重復(fù)性。布魯克的探針具有嚴(yán)格的納米加工控制，全面的質(zhì)量測(cè)試，和AFM領(lǐng)域的專業(yè)背景。所以用戶盡可放心，我們的探針不僅為您當(dāng)前的應(yīng)用提供所需的結(jié)果，同時(shí)也能為將來(lái)的研究提供參考數(shù)據(jù)。

原子力顯微鏡AFM探針:  

探針的工作模式：主要分為：掃描(接觸)模式和輕敲模式

探針的結(jié)構(gòu)：懸臂梁+針尖

探針針尖曲率半徑Tip Radius：一般為10nm到幾十nm。

制作工藝：半導(dǎo)體工藝制作

指標(biāo)：

探針的指標(biāo)主要分三個(gè)部分，分別對(duì)應(yīng)了基片，微懸臂梁，和針尖三個(gè)部分。

1. 基片，就是基片的長(zhǎng)，寬，高，各種探針的基片尺寸是基本一致的。

2. 懸臂梁，分為矩形梁和三角形懸臂梁，他們的長(zhǎng)寬厚的幾何尺寸決定了懸臂梁的彈性系數(shù)和共振頻率。而彈性常數(shù)K是探針的很重要的一個(gè)參數(shù)，一般來(lái)說(shuō)，接觸模式的探針的彈性常數(shù)小于1N/m。輕敲模式的探針的懸臂梁彈性系數(shù)從幾個(gè)N/m到幾十個(gè)N/m。常用的RTESP的彈性常數(shù)是40N/m。

3. 針尖，針尖的的幾何形狀是一個(gè)四面體。指標(biāo)主要有，曲率半徑(Tip Radius)，探針高度（Tip Height），對(duì)應(yīng)于四面體的指標(biāo)，前角（Front Angel），后角（Back Angel），側(cè)角（Side Angel），還有一個(gè)是Tip Set Back，對(duì)應(yīng)的是針尖離懸臂梁末端的水平距離。

材質(zhì)：

1. 輕敲探針：一般是單晶硅，型號(hào)如RTESP；

2. 接觸模式探針：材質(zhì)是SiN，而新型號(hào)的SNL接觸探針，懸臂梁是SiN，而針尖則Si（曲率半徑2nm左右），這種探針可以提供接觸模式下的分辨率圖；

3. 功能探針：如磁力探針（MESP），導(dǎo)電探針，則是在普通的硅探針的基礎(chǔ)上再鍍上相應(yīng)的材料。MESP的鍍層是Co/Cr，SCM-PIT的鍍層是Pt。

常用探針型號(hào)介紹：

  常用探針型號(hào)介紹

1. 輕敲模式，RTESPA-300，TESP，F(xiàn)ESP

2. 接觸模式，SNL，NP，

3. 智能掃描模式：Scanasyst air,ScanAsyst-fluid,ScanAsyst-Fluid+

4. 磁力顯微鏡，MESP-V2,MESP-RC-V2

5. 靜電力顯微鏡，導(dǎo)電AFM，等電學(xué)測(cè)量模式，DDESP，SCM-PIT，SCM-PIC等。

6.  其他特殊功能探針。如金剛石探針，大長(zhǎng)徑比探針。