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當前位置:> 供求商機> CRESTEC-超高分辨率的電子束光刻 CABL-UH 系列
CRESTEC CABL 系列采用專業(yè)的恒溫控制系統(tǒng),使得整個主系統(tǒng)的溫度保持恒定,再加上主系統(tǒng)內(nèi)部精密傳感裝置,使得電子束電流穩(wěn)定性,電子束定位穩(wěn)定性,電子束電流分布均一性都得到了大的提高,其性能指標遠遠高于其它廠家的同類產(chǎn)品,在長達 5 小時的時間內(nèi),電子束電流和電子束定位非常穩(wěn)定,電子束電流分布也非常均一。
由于 EBL 刻寫精度很高,因此寫滿整個 Wafer 需要比較長的時間,因此電子束電流,電子束定位, 電子束電流分布均一性在長時間內(nèi)的穩(wěn)定性就顯得尤為重要,這對大范圍內(nèi)的圖形制備非常關(guān)鍵。
CRESTEC CABL 系列采用其*的技術(shù)使其具有*的電子束穩(wěn)定性以及電子束定位精度,在大范圍內(nèi)可以實現(xiàn)圖形的高精度拼接和套刻。
Stitching accuracy | 50nm (500μm sq., μ+ 3σ)
20nm (50μm sq., μ+ 2σ) |
Overlay accuracy | 50nm (500μm sq., μ+ 3σ)
20nm (50μm sq., μ+ 2σ) |
Stitching accuracy for slant L&S <10nm
該圖是在 2 英寸 wafer 上,采用 50 um 的圖案進行拼接,寫滿整個片子,其拼接精度低于 10 nm.(實驗室數(shù)據(jù))。
CRESTEC CABL 系列還可以加工制備 10 nm 以下的線條,無論半導體行業(yè)還是在其它領(lǐng)域
CRESTEC 的電子束光刻產(chǎn)品都發(fā)揮了巨大的作用。
主要特點:
1.采用高亮度和高穩(wěn)定性的 TFE 電子槍
2.出色的電子束偏轉(zhuǎn)控制技術(shù) 3.采用場尺寸調(diào)制技術(shù),電子束定位分辨率(address size)可達 0.0012nm
4.采用軸對稱圖形書寫技術(shù),圖形偏角分辨率可達 0.01mrad
5.應用領(lǐng)域廣泛,如微納器件加工,Si/GaAs 兼容工藝,研究用掩膜制造,納米加工(例如單電子器件、量子器件制作等),高頻電子器件中的混合光刻(Mix & Match),圖形線寬和圖形位移測量等。
CABL-UH90 (90keV) 、CABL-UH110 (110keV) 、CABL-UH130 (130keV)
技術(shù)參數(shù):
加速電壓:高 130keV
單段加速能力達到 130keV,盡量減少電子槍的長度超短電子槍長度,無微放電
電子束直徑<1.6nm 小線寬<7nm
雙熱控制,實現(xiàn)超穩(wěn)定直寫能力
CABL-UH(130kV)系列
由于較高的加速電壓,EB抗蝕劑的前向散射較小。 CABL-UH模型的準確度低于10 nm。您可以根據(jù)自己的需要選擇90kV,HOkV或130kV。
光束直徑:<1.6nm①
小線寬:7 nm(在130kV時)
加速電壓:130 kV,110 kV或90 kV
載物臺尺寸:8英寸晶圓(可以使用少于8英寸晶圓的任何其他晶圓)
我的特色
♦Vacc:大130kV(25-130kV,5kV步進)
♦單級加速能力高達130kV,以小化EOC尺寸
♦無放電電子槍
♦光束直徑:> 1.6nm
♦細線能力:<7nm
♦發(fā)射極和陽極之間的靜電透鏡設計為在消隱電極的中心實現(xiàn)非常低的像差和近距離交叉圖像
♦使用雙熱控制器實現(xiàn)超穩(wěn)定的寫入能力
I規(guī)格
電子發(fā)射器/
加速電壓TFE(ZrO / W)Z25?130kV
小光束直徑/
小線寬1.6nm / 7.0nm
掃描方式矢量掃描(x,y)(標準)
矢量掃描(r,6),光柵掃描,點掃描(可選)
高級光刻功能(可選)場尺寸調(diào)制光刻,軸向?qū)ΨQ圖案光刻
字段大小30 pmZ、60pmZ、120prr)Z,SOOpmZ,600pm3(標準)1200pmZi,2400pmZi(可選)
20,000 x20,000點,60,000 x 60,OO點,96,000 x 96,OO點,
像素數(shù)240,000x 240,OO點©矢量掃描(標準)
10,000xl0,000dot @ R3Ster掃描(可選)
小地址大小10nm @ 600pmZfield,2nm @ 120pmZfield(標準)
0.0012nm@600pmZfield(可選)
尺寸為4、6、8英寸的工件>(其他尺寸和其他形狀的工件可以通過我們的靈活裝置安裝)
■拼接業(yè)紜蘇•50nm(3u)@ 600pmZ,20nm(2a)@ 60pmZ
重疊精度50nm(3o)@ 600pmZ
CAD軟件CAD(標準),GDS n轉(zhuǎn)換(可選),DXF轉(zhuǎn)換(可選)
操作系統(tǒng)Windows
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