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應(yīng)用：

應(yīng)用于科研和工業(yè)界各領(lǐng)域，涵蓋了聚合物材料表征，集成光路測(cè)量，材料力學(xué)性能表征，MEMS制造，金屬/合金/金屬蒸鍍的性質(zhì)研究，液晶材料性能表征，分子器件，生物傳感器，分子自組裝結(jié)構(gòu)，光盤(pán)存儲(chǔ)，薄膜性能表征等領(lǐng)域的監(jiān)測(cè)等各類科研和生產(chǎn)工作。

原理：

將一個(gè)對(duì)微弱力極敏感的微懸臂一端固定，另一端有一微小的針尖，針尖與樣品表面輕輕接觸，由于針尖*原子與樣品表面原子間存在極微弱的排斥力，通過(guò)在掃描時(shí)控制這種力的恒定，帶有針尖的微懸臂將對(duì)應(yīng)于針尖與樣品表面原子間作用力的等位面而在垂直于樣品的表面方向起伏運(yùn)動(dòng)。利用光學(xué)檢測(cè)法或隧道電流檢測(cè)法，可測(cè)得微懸臂對(duì)應(yīng)于掃描各點(diǎn)的位置變化，從而可以獲得樣品表面形貌的信息。

原子力顯微鏡的工作模式是以針尖與樣品之間的作用力的形式來(lái)分類的。主要有以下3種操作模式：接觸模式（contact mode) ，非接觸模式（ non - contact mode) 和敲擊模式( tapping mode）。

特征：

1. 高效率   

• 在空氣或液體中成像速度是原來(lái)速度的 100 倍，自動(dòng)激光調(diào)節(jié)和檢測(cè)器調(diào)節(jié)，智能進(jìn)針，大大縮短了實(shí)驗(yàn)時(shí)間。
• 自動(dòng)測(cè)量軟件和高速掃描系統(tǒng)*結(jié)合，大幅提高了實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的可信度和可重復(fù)性。

1. 高分辨率   

• FastScan 精確的力控制模式提高圖像分辨率的同時(shí)，延長(zhǎng)了探針的使用壽命。掃描速度 20Hz 時(shí)仍能獲得高質(zhì)量的 TappingModeTM圖像，掃描速度 6Hz 仍能獲得高質(zhì)量的ScanAsyst 圖像。
• 低噪音，溫度補(bǔ)償傳感器展現(xiàn)出亞埃級(jí)的噪音水平。

1. 在任何樣品上均有表現(xiàn)

• 閉環(huán)控制的 Icon和 FastScan掃描管極大地降低了 Z方向噪音，使它們 Z 方向的噪音水平分別低于 30pm 和 40  pm，具有極低的熱漂移率，可得到超高分辨的真實(shí)圖像。
• Fast Scan 可以對(duì)不同樣品進(jìn)行測(cè)量，保證高度從埃級(jí)到 100 多納米的樣品高精度無(wú)失真掃描

部分選擇項(xiàng)：