目錄:中美合資合肥科晶材料技術(shù)有限公司>>CVD、PECVD設(shè)備>> 1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)-GSL-1700X-4-HVC
參考價(jià) | 面議 |
參考價(jià) | 面議 |
更新時(shí)間:2024-10-22 08:45:15瀏覽次數(shù):3905評(píng)價(jià)
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
GSL-1700X-4-HVC是一款CE認(rèn)證的二通道高真空CVD系統(tǒng),其爐管直徑為4英寸,它是由二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成,其zui高工作溫度可達(dá)1600℃,極限真空度可達(dá) to 10^-5 torr?;鞖庀到y(tǒng)可以對(duì)兩種氣體進(jìn)行精確的混氣,然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。
技術(shù)參數(shù)
GSL-1700X 系列管式爐 | 殼體 |
| ||||
爐管 |
| |||||
功率
| 6KW | |||||
工作電壓
| AC 208-240V單相, 50/60Hz | |||||
加熱元件
| 8 根1800°C grade MoSi2 heating element | |||||
工作溫度 |
| |||||
升溫速率
| <=5°C/min | |||||
加熱區(qū)長(zhǎng)度 |
| |||||
溫控系統(tǒng) |
| |||||
真空法蘭 |
| |||||
外形尺寸
| 550 x 380 x 520mm | |||||
高真空機(jī)組 | 功率
| 100~110W | ||||
工作電壓
| AC 208-240V單相, 50/60Hz | |||||
外形尺寸
| 600(L) x 600(W) x 700(H), mm | |||||
殼體 |
| |||||
控制面板 |
| |||||
抽氣速率 |
| |||||
工作范圍
| 1000 mbar to <1E-7 mbar | |||||
極限
| <1E-8 mbar (without any leaking ) | |||||
質(zhì)量流量控制器 | 殼體 |
| ||||
功率
| 18W | |||||
工作電壓
| AC 208-240V, 單相, 50/60Hz | |||||
質(zhì)保期 |
一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈,等易耗件 | |||||
質(zhì)量認(rèn)證 | CE Certificateed |
Operation Manual
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)