目錄:中美合資合肥科晶材料技術(shù)有限公司>>CVD、PECVD設(shè)備>> 1200°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)-OTF-1200X-HVC
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更新時(shí)間:2024-10-22 08:43:27瀏覽次數(shù):2185評(píng)價(jià)
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OTF-1200X--HVC是由OTF-1200X-單溫區(qū)管式爐,二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成。其zui高工作溫度可達(dá)1200℃,極限真空度可達(dá) to 10^-5 torr?;鞖庀到y(tǒng)可以對(duì)兩種氣體進(jìn)行精確的混氣,然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。
技術(shù)參數(shù)
OTF-1200X系列 管式爐 | 殼體結(jié)構(gòu) |
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爐管 |
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功率 | 2.5KW | |
工作電壓 | AC 208-240V 單相, 50/60Hz | |
加熱元件 | Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo,(電阻絲表面涂有氧化鋯涂層,zui大程度的延長(zhǎng)加熱元件的使用壽命) | |
工作溫度 |
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加熱速率 | 加熱速率: 1~20°C/min 可編程 | |
加熱區(qū)長(zhǎng)度 |
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控溫系統(tǒng) |
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真空密封 |
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功率 | 100~110W | |
工作電壓 | AC 208-240V , 50/60Hz | |
高真空機(jī)組 | 殼體 |
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抽氣速率 |
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工作范圍 | 1000 mbar to <1E-7 mbar | |
極限 | <1E-8 mbar (無(wú)泄漏) | |
質(zhì)量流量控制器 | 殼體 |
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功率 | 18W | |
工作電源 | AC 208-240V, Single phase, 50/60Hz | |
質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管密封圈加熱元件等易耗件 | |
質(zhì)量認(rèn)證 | CE Certificate |
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