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目錄:牛津儀器(上海)有限公司>>RIE Etching>> PlasmaPro 80 RIE

PlasmaPro 80 RIE
  • PlasmaPro 80 RIE
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更新時間:2022-11-30 17:50:19瀏覽次數(shù):164評價

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PlasmaPro 80是一種結(jié)構(gòu)緊湊、小尺寸且使用方便的直開式系統(tǒng),可以提供多種刻蝕和沉積的解決方案。 它易于放置,便于使用,且能確保工藝性能。直開式設(shè)計可實現(xiàn)快速晶圓裝卸,是研究和小批量生產(chǎn)的理想選擇。 它通過優(yōu)化的電極冷卻和出色的襯底溫度控制來實現(xiàn)高質(zhì)量的工藝。 詢價 增加到詢價列表 在詢價列表中查看此產(chǎn)品
  • III-V族材料刻蝕工藝
  • 硅 Bosch和超低溫刻蝕工藝
  • 類金剛石(DLC)沉積
  • 二氧化硅和石英刻蝕
  • 用特殊配置的PlasmaPro FA設(shè)備進(jìn)行失效分析的干法刻蝕解剖工藝,可處理封裝好的芯片, 裸晶片,以及200mm晶圓
  • 用于高亮度LED生產(chǎn)的硬掩模的刻蝕
RIE of InP waveguide

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7 μm polyimide feature RIE

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