美國TEGAM 9072J 型高壓放大器微機(jī)電驅(qū)動系統(tǒng)

• 完整的軟件工具

• 任意/函數(shù)波形發(fā)生器

• 精確的信號放大

• 立體變焦三目顯微鏡

• 高分辨率視覺系統(tǒng)

• 實驗室微型探針臺應(yīng)用

• MEMS/NEMS器件

• 壓電器件

• 傳感器開發(fā)

• 微型驅(qū)動器

• 教育, 科研, 技能培訓(xùn)

美國TEGAM 9072J 型高壓放大器微機(jī)電驅(qū)動系統(tǒng)

TEGAM9072J 型高壓微機(jī)電驅(qū)動系統(tǒng)具有高分辨率，高電壓波形，

價格經(jīng)濟(jì)實惠，是一套適合目前科研人員，學(xué)生和老師使用的強(qiáng)大工

具。教師通過外接投影儀可以用該系統(tǒng)向?qū)W生展示理論概念，而科研

人員能以視頻和圖片的方式記錄設(shè)備操作以便于相互之間的合作。

9072J高壓微機(jī)電驅(qū)動系統(tǒng)*推出了一套用于微電子器件驅(qū)動和可

視化測量的完整系統(tǒng)。

MEMS移動

自 從 MEMS技術(shù)產(chǎn)生以來 ，TEGAM產(chǎn)品就一直用于MEMS器件的驅(qū)動。

通常使用三個工具即可實現(xiàn)MEMS移動：

1. 一個任意波形發(fā)生器

2. 一個功率放大器

3. 一個夾具或一個探頭

使用波形發(fā)生器可實現(xiàn)適當(dāng)?shù)尿?qū)動觸發(fā)，發(fā)生器通常限定為10 Vp - p。

根據(jù)被驅(qū)動的元器件不同所要觸發(fā)的振幅也有所不同。電壓放大器可

以把發(fā)生器的低電壓輸出幅度提高到更高的驅(qū)動值，以滿足微電子器

件測試時的驅(qū)動電壓值。因為大多數(shù)的器件都有正常的操作頻率和振

幅，所以老師和學(xué)生應(yīng)采取一定預(yù)防措施來選擇合適的驅(qū)動值?？蒲?/span>

人員在生產(chǎn)MEMS/NEMS器件時應(yīng)該從低頻率和低電壓開始，逐步提高

兩項的值以達(dá)到期望的結(jié)果。

問題

微機(jī)電器件是如此之小，如果沒有視覺輔助系統(tǒng)就檢測不到它的正常

移動?？蒲腥藛T通常使用單一的光學(xué)檢測顯微鏡觀察移動，但是這種

檢測方法對于一些小組成員，想集體觀察實時發(fā)生的情況是有局限性

的。完整的測量系統(tǒng)還需補(bǔ)充額外的驅(qū)動觸發(fā)和測量設(shè)備。

TEGAM的解決方案

9072J高壓微機(jī)電驅(qū)動系統(tǒng)包括：

1.2732：雙通道任意波形發(fā)生器

2.軟件：Excel/WaveWorks DDS,

Video Image Express

3. 2350：雙通道電壓放大器

4. 戴爾電腦

5. 顯微鏡/照明

6. 微探針臺

7. 高分辨率視覺系統(tǒng)和軟件

函數(shù)發(fā)生器

TEGAM9072J型高壓微機(jī)電驅(qū)動系統(tǒng)包括一個2732函數(shù)發(fā)生器，

它具有兩個單獨(dú)的通道，可提供兩個獨(dú)立的達(dá)50MHz的波形。 2732

同時具有同類任意波形發(fā)生器中zui大的存儲量，達(dá)400萬點(diǎn)的數(shù)據(jù)存

儲，擁有14位分辨率。

函數(shù)發(fā)生器軟件

隨 機(jī) 的 軟 件 包 為 WaveWorksDDS TM ，允許進(jìn)行逐點(diǎn)的操作和

創(chuàng)建波形。創(chuàng)建后的、可達(dá)400萬點(diǎn)×2通道的波形，可通過RS-232接

口 或 GPIB接 口 下 載 至 儀 器 。WaveWorks DDS TM 軟件也可以從

泰克，力科，安捷倫等公司大多數(shù)的示波器中導(dǎo)入波形。創(chuàng)建波形的

另一個有用工具是Microsoft Excel，用Excel表中普通的數(shù)學(xué)函數(shù)功能

就能夠創(chuàng)建不同的波形，長度可達(dá)65,535點(diǎn)。用戶還可以在Excel中

用圖表工具預(yù)覽波形數(shù)據(jù)。生成的數(shù)據(jù)可以保存到文件中，然后導(dǎo)入

WaveWorks DDS TM 軟件。2732采用逗號描述導(dǎo)入方式， 可從允許逗

號分隔文件的任何軟件中導(dǎo)入數(shù)據(jù)，如MATLAB®，示波器文件，或從

其他可生成CSV格式的設(shè)備中導(dǎo)入數(shù)據(jù)。

電壓放大器

TEGAM2350型電壓放大器被用做2732函數(shù)發(fā)生器的補(bǔ)充放大器。

9072J高壓微機(jī)電驅(qū)動系統(tǒng)中包括一個固定增益為50倍的，2350型雙

通道放大器。

許多微機(jī)電器件需要超過100 Vp – p的驅(qū)動觸發(fā)，2350放大器擁有400

Vp - p的zui大輸出電壓，能夠滿足目前MEMS元器件的驅(qū)動需求和未

來可能的技術(shù)發(fā)展。在40 mA的連續(xù)電流下，2350可以驅(qū)動達(dá)200pF

的電容負(fù)載，同時保持200kH  z的全功率帶寬。

計算機(jī)/顯微鏡/照明

9072J高壓微機(jī)電驅(qū)動系統(tǒng)還包括一個PC機(jī)，預(yù)裝的軟件包括：

1. WaveWorks DDS

2. Excel

3. Video Image Express Control

和測量軟件

三目立體顯微鏡同步實現(xiàn)現(xiàn)場立體觀測和攝像頭成像。每個系統(tǒng)都配

備一個360°的無影環(huán)形熒光照明器，以便實現(xiàn)合適的照明。

攝像頭

USB2.0接口的攝像頭無需復(fù)雜的視頻采集卡即可快速、輕易的獲取圖

像。攝像頭分辨率可選，能夠達(dá)到每秒25幀的實時圖像觀察。高分辨

率(300萬像素)的圖像捕捉性能極其適合于檢測使用。而一個簡單的

用戶軟件界面即可實現(xiàn)對攝像頭的控制，只要點(diǎn)擊一下鼠標(biāo)就可以捕

捉到圖像并以.jpg和.bmp的格式保存圖像。

微探針臺

這個堅固耐用的基礎(chǔ)探針臺可用于先進(jìn)的有源和無源器件的研究，也

可用于高校的教學(xué)和培訓(xùn)。探針臺由一個真空固定的精密的X-Y軸和Z軸

升降臺組成。為便于操作，測試設(shè)備的移動不依賴探頭位置的作用。堅固

的三軸定位在X軸，y軸和Z軸上有25mm的調(diào)整范圍，并磁附到平臺上。

參數(shù)

美國TEGAM簡介

TEGAM 公司成立于1979年，總部和生產(chǎn)設(shè)在美國俄亥俄州克里夫蘭市東，專注于設(shè)計、生產(chǎn)多種測試測量和校準(zhǔn)儀器。

TEG AM 公司微歐計和阻抗測試產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于軍用和民用航空業(yè)的設(shè)計、制造和維護(hù)M R O 過程中的各個檢測環(huán)節(jié)，使

用TEG AM 公司儀器的客戶包括：

•  波音公司

•  麥道公司

•  洛克希德.馬丁公司

•  斯科斯基公司

•  貝爾直升機(jī)公司

•  休斯直升機(jī)公司

•  羅克韋爾公司

•  通用動力公司

•  眾多航空公司的MRO基地

•  美國國防機(jī)構(gòu)

校準(zhǔn)和服務(wù)計劃

校準(zhǔn)、延長保修期和服務(wù)計劃適用于所有的TEG AM 產(chǎn)品。這些計劃節(jié)省您的時間和花費(fèi)，并且確保您的儀器性能得到優(yōu)化。這些計劃可以伴隨著新儀器的采購、以優(yōu)惠的價格購買。TEG AM 獲得更多信息。

實驗室認(rèn)證

TEG AM 公司符合ISO /IEC 17025;2005中“測試和校準(zhǔn)實驗室能力的通用要求”的條件和要求，通過了 A2LA (美國實驗室認(rèn)證委員會)的認(rèn)證，達(dá)到ISO /IEC 17025:2005的要求。認(rèn)證號碼 2018.01.

R 1L-E2A本安型搭接電阻表和微歐計，滿足的標(biāo)準(zhǔn). ATEX Ex ia IIA T4 G a和 C -U L-U S Listed C lass I D iv.1,G roup D com pliance w ith AN SI/U L 913-1988, Fifth Edition, 21 Feb.,1997