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北京瑞科中儀科技有限公司
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串集多腔鍍膜設(shè)備
  • 串集多腔鍍膜設(shè)備

更新時(shí)間：2024-11-18 21:00:07

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簡(jiǎn)要描述：串集多腔鍍膜設(shè)備是一組真空腔系統(tǒng)，這些真空腔系統(tǒng)通過(guò)位于系統(tǒng)中心的傳輸腔相互連接。從基材的清潔、鍍膜與封裝的所有過(guò)程都在不破壞真空的環(huán)境下連續(xù)進(jìn)行。

串集多腔鍍膜設(shè)備是一組真空腔系統(tǒng)，這些真空腔系統(tǒng)通過(guò)位於系統(tǒng)中心的傳輸腔相互連接。從基材的清潔、鍍膜與封裝的所有過(guò)程都在不破壞真空的環(huán)境下連續(xù)進(jìn)行。所有這些過(guò)程使外部環(huán)境的影響最小化，以防止在沉積的過(guò)程中基板表面氧化，並為元件製造提供了效率。

Syskey可根據(jù)客戶要求提供多腔體鍍膜系統(tǒng)。 我們的系統(tǒng)通常包含濺鍍、蝕刻、PECVD、熱蒸發(fā)、ALD、退火、電漿清洗和冷卻系統(tǒng)，這些系統(tǒng)可用於FPD、電子行業(yè)、太陽(yáng)能電池和半導(dǎo)體行業(yè)。

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串集多腔鍍膜設(shè)備參數(shù)

應(yīng)用領(lǐng)域腔體

  • 半導(dǎo)體行業(yè)。

  • 太陽(yáng)能電池。

  • LED。

  • 有機(jī)發(fā)光二極體。

  • 有機(jī)光伏打電池。

  • 平板顯示器。

  • 客製化的腔體尺寸取決於基板尺寸和應(yīng)用。

  • 帶有機(jī)械手臂的鋁製腔體，用於在腔體之間的傳送。



選件

  • 濺鍍。

  • PECVD。

  • 乾蝕刻。

  • ALD/ PEALD。

  • 電漿清洗。

  • 熱退火。

  • 電子束蒸發(fā)。

  • 熱蒸鍍




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