目錄:多場低溫科技（北京）有限公司>>壓電運動·室溫>>多軸并聯(lián)>> Free3D.ZTxTy.150壓電三軸并聯(lián)位移臺，三自由度，ZTT移動
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 電動 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 應用領域 | 電子,航天,電氣,綜合 |
壓電·三軸并聯(lián) Free3D.ZTxTy.150
? 3自由度并聯(lián)設計，空間中ZTT移動
• 由納米級驅(qū)動單元實現(xiàn)的三自由度并聯(lián)結構，有效降低累積誤差；
• 多軸姿態(tài)同時調(diào)節(jié)、結構穩(wěn)定、剛性高；
• 平動行程：Z ±5 mm；
• 主體材料：鋁合金；
• 角擺行程：ΘX, ΘY, ±3 °, ±3 °；
• 最大垂直負載：3 kg；
• 單向重復定位精度Z：±0.15 μm；
• 單向重復定位精度ΘX, ΘY：±2.5 μrad, ±2.5 μrad；
• 最小位移Z：25 nm；
• 最小位移ΘX, ΘY：7.5 μrad, 7.5 μrad；
• 速度：1 mm/s - 10 mm/s；
• 重量：1.5 kg；
• 可提供真空環(huán)境規(guī)格；
• 集成傳感器：光學編碼器；
• 位置傳感分辨率：2 nm；
• 控制軟件：提供PC端使用軟件;
• 控制器通道：3通道輸出控制;
• 控制方式：根據(jù)用戶輸入的位移指令，實現(xiàn)對位移臺三軸空間姿態(tài)的運動調(diào)節(jié)；各驅(qū)動單元模塊通過光柵位置反饋實現(xiàn)閉環(huán)控制；通過專用軟件，實現(xiàn)對三軸并聯(lián)運動的解算，分配到各驅(qū)動單元模塊，實現(xiàn)三軸空間姿態(tài)的同時調(diào)節(jié)
壓電三軸并聯(lián)位移臺，三自由度，ZTT移動——詳細參數(shù)：
壓電三軸并聯(lián)位移臺，三自由度，ZTT移動——尺寸圖：
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