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產(chǎn)品名稱

GSL-1700X-SPC-2 小型程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀

產(chǎn)品型號(hào)

GSL-1700X-SPC-2

主要特點(diǎn)

1 、已通過(guò) CE 認(rèn)證。

2、采用石英腔體，易于清潔和樣品的放入。

3、樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)，能夠使所制薄膜達(dá)到更好的均勻性。

4、采用鎢絲作為發(fā)熱源，溫度可達(dá)到 1700℃，并配有專用的氧化鋁舟裝載樣品（僅 1600oC 以 下使用， 若蒸發(fā)溫度大于 1600oC，樣品應(yīng)直接放在鎢絲籃中）。

5、熱電偶安裝在坩堝底部，以便于溫度測(cè)量和控制。

6、可將設(shè)備轉(zhuǎn)換到手動(dòng)調(diào)節(jié)狀態(tài)， 內(nèi)部不安裝熱電偶， 直接采用手動(dòng)調(diào)節(jié)輸出電流大小， 發(fā)

熱源溫度可達(dá) 2000oC，可達(dá)到對(duì)樣品鍍碳等實(shí)驗(yàn)要求。

7 、可向真空腔體中通入惰性氣體，對(duì)腔體進(jìn)行清洗，也可通入反應(yīng)氣體，進(jìn)行反應(yīng)蒸發(fā)鍍膜。

8、進(jìn)氣口配有針閥，用于調(diào)節(jié)進(jìn)氣流量。

技術(shù)參數(shù)

1、電壓： AC 208V-220V 50Hz/60Hz  單相

2 、Max 功率： 500W ，Max 大電流為 30A

3、真空腔體：石英腔體，直徑 ?6"

4、樣品臺(tái)： 直徑 ?50mm；可旋轉(zhuǎn)， 轉(zhuǎn)速5rpm；與蒸發(fā)源間距可調(diào)， 調(diào)節(jié)范圍 60mm-100mm

5 、Max 溫度： 1700oC

6、熱電偶： S 型熱偶， 工作溫度 200oC-1500oC（可選用 B 型熱偶， 工作溫度 1200oC-1700oC）

7、控溫精度：± 1oC，數(shù)顯溫度控制器， 可設(shè)置 30 段升降溫程序

8、鎢絲籃： 2 個(gè)

9、真空接口： KF40

10、真空計(jì)： 數(shù)顯防腐真空計(jì) PCG554 ，測(cè)量范圍 3.8×10-5-1125torr

11、進(jìn)氣接口： 1/4NPS

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 440mm×330mm×630mm

可選配件

1、機(jī)械泵（帶油污過(guò)濾器）（真空度<10-2torr，可以蒸發(fā)貴金屬， 如 Au 、Ag）

2、分子泵（可獲得高真空，真空度<10-5torr，蒸發(fā)易氧化材料， 如 Al 、Mg 、Li 等）

3、低真空系統(tǒng)

4、高真空系統(tǒng)

5、等離子清洗機(jī)（鍍膜前對(duì)基片進(jìn)行清洗，可獲得更好的薄膜強(qiáng)度）