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ULVAC愛發(fā)科 羅茨型干泵真空泵

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 ULVAC集團成立于1952年。自創(chuàng)業(yè)以來，與液晶平板顯示器、半導(dǎo)體和電子元件以及汽車、食品和制藥等一般工業(yè)設(shè)備等廣泛行業(yè)的業(yè)務(wù)合作伙伴一起，通過挑戰(zhàn)利用真空技術(shù)創(chuàng)造創(chuàng)新，努力創(chuàng)造新的價值。在顯示器、半導(dǎo)體、電子、電氣、金屬、機械、汽車、化工、食品、制藥等行業(yè)以及大學(xué)和研究機構(gòu)的真空設(shè)備、周邊設(shè)備、真空元件和材料的開發(fā)、制造、銷售、客戶支持、進出口。此外，還是真空技術(shù)的研究主管和技術(shù)顧問。旨在通過相互合作和協(xié)作以及真空技術(shù)和周邊技術(shù)的綜合使用，為工業(yè)和科學(xué)的發(fā)展做出貢獻。

利用鋁材優(yōu)異的熱傳導(dǎo)性能使排氣腔室整體高溫分布均勻。適用于半導(dǎo)體?電子設(shè)備和顯示器制造的

CVD或蝕刻等會產(chǎn)生升華性氣體的工藝  

高溫均勻分布：在CVD、蝕刻等工藝下使反應(yīng)性氣體(升華性氣體)可以以氣體形態(tài)排氣?？梢詼p少氣體固化量。

• 強耐腐蝕性：主要零件采用耐腐蝕性強的表面處理。減少腐蝕性氣體排氣時的腐蝕性

型號：

LR60  LR90  LR180  LR421  LR421-T  

LR300  LR600  LR1200  LR1800

LR3601  LR3601-T  LR3601-R  LR3601-TR

HR60  HR90  UR421-T  

HR300  HR600  UR600

HR1200  UR1200  UR1800  UR3601-TT