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應用領域 | 化工,生物產業(yè),石油,能源,綜合 |
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UGA 系列——腐蝕性氣體的理想選擇
UGA-氫氣系列(UGA w/opt. 3)——適用于高濃度 H 2
ULT 系列——低成本解決方案(起價 28,000 美元)
UGA 和 U LT系列通用氣體分析儀是**的臺式質譜儀,可在大氣壓以上至 UHV 范圍內運行。它們是氣體混合物在線監(jiān)測和分析的理想選擇。無論您是測量痕量污染物、溶劑、碳氫化合物、制冷劑還是腐蝕性氣體,您的通用氣體分析儀都能勝任這項任務。
UGA 應用包括半導體廢氣監(jiān)測、手套箱分析、燃料電池研究、氟利昂檢測、污染監(jiān)測、發(fā)酵研究和一般研發(fā)真空分析。
這些分析儀也易于操作和維護。機箱設計允許儀器垂直或水平操作,同時支持前面板和計算機操作。U LT系列是針對要求不高的應用的簡化設計。
工作原理
UGA 系統(tǒng)使用兩級減壓入口進入大氣壓下的樣氣。在壓力降低到大約10 -6 Torr之后,氣流被送到質譜儀(殘余氣體分析儀——RGA),該質譜儀測量每個感興趣的質量的濃度。
UGA Windows 軟件為復雜的繪圖和數(shù)據(jù)分析提供了一個圖形用戶界面。該軟件還允許遠程控制系統(tǒng)的閥門、加熱器和泵。
對于10 -1到10 -4 Torr范圍內的氣體采樣,使用真空入口組件。只需將 2 ?" CF 至 ?" 管適配器連接到 CF 端口之一,然后根據(jù)入口壓力調整管的長度。
為 UHV 應用(<10 -4 Torr)提供了對 RGA 的直接訪問。真空入口組件的任何 2 ?" CF 端口均可用于連接到您的真空室。
多毛細管進樣口(僅* UGA 系列)
可選的多端口采樣入口由 16 個安裝在歧管上的閥組成,可與各種毛細管一起使用。
加熱室(僅* UGA 系列)
UGA 系統(tǒng)配備了用于真空室(包括 RGA)、渦輪泵連接器和真空入口組件的單獨加熱器。在烘烤期間,系統(tǒng)可以加熱到 120 °C。
雙隔膜泵(僅* UGA 系列)
單獨的隔膜泵用于處理渦輪泵的旁通流量和回流。這種架構允許在不損壞 RGA 和渦輪泵的情況下分析腐蝕性氣體(氯、氟等),并且?guī)缀跸嘶亓鲉栴}。測量高濃度的低質量氣體(氫氣、氦氣等)不再是問題。
渦輪泵排氣(UGA 和 U LT)
渦輪泵排氣口的可選閥門和入口可供希望用干燥氮氣(或其他惰性氣體)排氣的用戶使用。這使泵免受空氣中存在的水和其他污染物的影響。
使用你的 UGA
UGA 系統(tǒng)可以通過前面板或計算機進行控制。提供所有系統(tǒng)組件的手動或自動控制選擇。
使用 UGA 軟件測量和顯示數(shù)據(jù)。直觀的用戶界面允許快速輕松地進行測量。實時捕獲和顯示數(shù)據(jù),或計劃在*定時間采集數(shù)據(jù)。
功能包括模擬和直方圖掃描模式、壓力與時間圖、泄漏檢測、氣體庫和在線幫助。
RGA 參數(shù)也可以通過上等 ASCII 命令集進行控制和監(jiān)視。標準 RS-232和以太網(wǎng)接口用作您 PC 的數(shù)據(jù)鏈路。
UGA 系列大氣壓分析儀
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