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MKS真空計626A13TDE在伺服驅動器速度閉環(huán)中,電機轉子實時速度測量精度對于改善速度環(huán)的轉速控制動靜態(tài)特性至關重要。為尋求測量精度與系統(tǒng)成本的平衡,一般采...
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MKS流量計649A51T51CADR流量計英文名稱是flowmeter,全國科學技術名詞審定委員會把它定義為:指示被測流量和(或)在選定的時間間隔內流體總量的...
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