PTHC系列低溫液冷機(jī)應(yīng)用于晶圓測(cè)試的高低溫冷熱臺(tái)（晶圓測(cè)試載物臺(tái)）chuck的加熱制冷控溫，載冷劑采用硅油或氟化液循環(huán)精確控溫，液冷制冷機(jī)主要由加熱循環(huán)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。控制系統(tǒng)采用PID控制技術(shù)，高清觸摸屏顯示，設(shè)有多項(xiàng)保護(hù)功能，確保設(shè)備安全運(yùn)行。通過機(jī)組自身的加熱與冷卻，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件。
設(shè)備控溫范圍：-80℃~200℃
Chuck盤面控制溫度：-60℃
溫度穩(wěn)定性：±0.1℃
制冷系統(tǒng)：采用雙極壓縮制冷系統(tǒng)
定制：可按要求定制-60℃液冷制冷機(jī)
參數(shù)看清楚
型號(hào)
設(shè)備名稱
制冷方式
操作面板
載冷劑
全密閉系統(tǒng)
介質(zhì)溫度范圍
溫度精度
溫度穩(wěn)定性
溫度反饋
控溫對(duì)象
顯示分辨率
通信協(xié)議
外部輸入
存儲(chǔ)功能
冷凝方式
安全防護(hù)
液冷制冷機(jī)
PTHC系列低溫液冷機(jī)
雙級(jí)復(fù)疊制冷
7英寸彩色觸摸屏，中文顯示，操作簡(jiǎn)便 、顯示直觀， 可顯示 、記錄 溫度曲線和測(cè)試數(shù)據(jù)
氟化液或硅油
管道材質(zhì)：SUS304，采用全密閉式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
-80℃ ~ 200℃
出口溫度±0.5 ℃
± 0.1 ℃
設(shè)備導(dǎo)熱介質(zhì)溫度反饋PT100 (回口溫度 、 出口溫度) ，控晶圓測(cè)試chuck盤溫度
設(shè)備導(dǎo)熱介質(zhì)出口溫度 (可選擇控制物料溫度)
0.01K
MODBUS RTU協(xié)議、RS 485接口+以太網(wǎng)接口
外置測(cè)溫傳感器端口 、USB數(shù)據(jù)接口
試驗(yàn)執(zhí)行時(shí)， 可實(shí)時(shí)顯示圖形曲線， 顯示內(nèi)容；溫度設(shè)定實(shí)際值，執(zhí) 行程序周期，程序執(zhí)行中具有跳文件，保持功能。
風(fēng)冷
設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)實(shí)時(shí)顯示，故障信息自動(dòng)診斷， 多項(xiàng)報(bào)警保護(hù)： 電源故 障 ，壓縮機(jī)過載 、循環(huán)泵熱過載 、制冷低壓報(bào)警 、 制冷高壓報(bào)警 、超 溫 、溫度模塊故障 、 電加熱防干燒設(shè)計(jì)等保護(hù)功能。
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