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RLD10 DI
RENISHAW/英國雷尼紹
經(jīng)銷商
東莞市
更新時間:2024-01-16 16:59:37瀏覽次數(shù):791次
聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網(wǎng)Renishaw雷尼紹差分干涉儀RLD10 DI概述:
差分干涉儀允許測量相對于定義參考對象的位置變化。
差分發(fā)射頭具有光學設計,可實現(xiàn)極低的SDE性能。內(nèi)置的激光準直輔助鏡可在設定過程中實現(xiàn)俯仰和扭擺角度調(diào)整,從而改進準直過程(僅適合平面鏡應用)。
RLD10-X3-DI發(fā)射頭可通過一個簡單的三針固定架安裝在工作腔的外墻上。無需進入工作腔即可校正光路,內(nèi)置激光準直輔助鏡可對參考和測量光束的俯仰和扭擺進行獨立的調(diào)整,安裝系統(tǒng)的設計允許拆卸發(fā)射頭和調(diào)整發(fā)射頭位置,對系統(tǒng)準直的影響極小。
特性與優(yōu)點:
測量性能-ppb穩(wěn)頻精度,超低周期誤差,輸出分辨率達到38.6pm。
差分配置-測量運動平臺相對于安裝立柱的位移,從而消除常見模式誤差,例如與環(huán)境波動有關的工作區(qū)側壁移動。
快速調(diào)節(jié)準直-采用四個內(nèi)置激光準直輔助鏡,很簡單地在真空室外部進行準直調(diào)整,從而消除真空室和鏡組安裝公差。
通常使用雷尼紹RLU20來配置差分干涉儀發(fā)射頭。RLU20激光源的高穩(wěn)定性結合差分干涉儀發(fā)射頭的高性能,必將成為真空室和其他空調(diào)嚴格控制環(huán)境中的應用的理想選擇。
Renishaw雷尼紹差分干涉儀規(guī)格:
軸行程 | 0m-1m |
分辨率(使用RLU配置) | 模擬正交=λ/4 (158nm) |
系統(tǒng)非線性誤差* (SDE) *不含接口 | 低于50mm/s且信號強度>70%時<±1nm |
最高速度 | 最高可達1m/s |
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