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產(chǎn)品介紹

LVHT系列恒溫加熱探針臺是我司根據(jù)高?？蒲屑爱a(chǎn)業(yè)研發(fā)需要，而特定設(shè)計的一款高精密控溫探針臺，系統(tǒng)兼顧位移調(diào)節(jié)精度及控溫精度，實現(xiàn)測量芯片在不同溫度下的電學(xué)性能變化，廣泛應(yīng)用于光電半導(dǎo)體等相關(guān)領(lǐng)域。

技術(shù)優(yōu)勢

· 模塊化設(shè)計，可以搭配不同構(gòu)件完成不同測試

· 最大可用于12英寸以內(nèi)樣品測試

· 探針臺整體位移精度高達3μm，樣品臺精密四維調(diào)節(jié)

· 兼容多種光學(xué)顯微鏡，可外引光路實現(xiàn)光電mapping測試

· PID控溫，可加熱至300℃，精度±0.1℃，均勻性±5℃

· 滿足1μm以上電極/PAD使用

· 漏電精度可達10pA/100fA（屏蔽箱內(nèi)）

· 探針座采用進口交叉滾珠導(dǎo)軌，線性移動，無回程差設(shè)計

· 加寬探針放置架，可放置6個DC探針座/4個RF探針座

· 顯微鏡可二維精密調(diào)節(jié)，且可選配多種行程及驅(qū)動方式

模塊介紹

通用參數(shù)

常規(guī)選型

相關(guān)配件

多種精度，多種夾具類型探針座

同軸線纜，三同軸線纜

各種類型探針

真空泵

電學(xué)測試夾具

電磁屏蔽箱

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體材料光電檢測，功率器件測試，MEMS測試，PCB測試，液晶面板測試，測量表面電阻率測試，精密儀器生產(chǎn)檢測，航空航天實驗室。

譜量光電可以根據(jù)客戶實際應(yīng)用需求，定制配套恒溫加熱探針臺系統(tǒng)，以達到更好的測試效果及更高的性價比，具體信息可聯(lián)系詳詢