目錄:愛義信工業(yè)科技(上海)有限責任公司>>無氧無塵烘箱>>半導(dǎo)體烘箱>> CTCO半導(dǎo)體烘箱
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子,航天,汽車,電氣 |
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半導(dǎo)體烘箱外觀結(jié)構(gòu):
外殼采用A3冷軋鋼板裁剪、打磨、酸洗、磷化等表面防銹處理后烤漆,工作室采用SUS304#潔凈不銹鋼板滿焊、耐高溫密封處理
工作室內(nèi)百級,采用進口H14耐高溫高效過濾器,過濾率0.3μm粒子99.995%以上
隔熱層采用120mm厚100K高密度硅酸鋁纖維保溫材料,表面溫度<45℃
門框密封采用無氟硅橡膠密封條,耐高溫,抗老化
隔板可調(diào)整高度及增減數(shù)量
半導(dǎo)體烘箱風路系統(tǒng):
采用密封內(nèi)循環(huán)風路,減少氮氣消耗
采用倒U型風道結(jié)構(gòu)設(shè)計,箱內(nèi)兩側(cè)單向水平送風,風道倉內(nèi)強壓送風
特殊可調(diào)導(dǎo)風板設(shè)計,保障工作室內(nèi)送風均勻
大功率三相異步耐高溫長軸馬達,不銹鋼渦輪扇葉(出廠動平衡調(diào)整)結(jié)合不銹鋼蝸牛殼結(jié)構(gòu)結(jié)合兩側(cè)不銹鋼沖孔風板,風力強勁,送風均勻,平穩(wěn),工作噪音<65dB
溫控系統(tǒng):
不銹鋼無塵加熱器,潔凈無塵
PLC+7寸彩色觸摸屏,HMI人機交互系統(tǒng),中文操作界面,全自動程序運行模式,PID智能演算,自動恒溫,超溫保護,傳感器斷線保護,斷電記憶功能,帶氧含量、溫度值,工作狀態(tài)(排氧、維持、加熱、電磁閥、及故障等)監(jiān)控界面、程序設(shè)定界面、歷史曲線界面、歷史數(shù)據(jù)功能,可通過USB導(dǎo)出數(shù)據(jù),搭配PC端溫度數(shù)據(jù)處理軟件
采用導(dǎo)軌式智能AI溫度控制模塊,控溫精度0.1級,自動恒溫,智能PID演算,帶30段程序升溫,帶傳感器斷線警報,AT自整定,超溫控制,斷電記憶功能,控溫準,穩(wěn)定性好
高精度PT100不銹鋼鎧裝鉑金電阻溫度傳感器
安全系統(tǒng):
按鍵鎖
超溫保護
電流過載保護
漏電保護
接地保護
規(guī)格參數(shù):
設(shè)備型號 Model | CTCO-180(A/B) | CTCO-270(A/B) | CTCO-480(A/B) | |
控溫范圍 Operating Temp. Range | RT+10~350℃ | |||
溫度分辨率 Temperature resolution | 0.1℃ | |||
溫度波動度 Control stability | ±0.5℃ | |||
溫度均勻度 Temperature uniformity | ±1.5℃(at100℃ 恒溫空載狀態(tài)下) ±2.5℃(at200℃ 恒溫空載狀態(tài)下) ±3.5℃(at300℃ 恒溫空載狀態(tài)下) ±5.0℃(at350℃ 恒溫空載狀態(tài)下) | |||
潔凈度 Cleanliness | 百級 Class100/ 千級 class1000 | |||
高效過濾器 HEPA | H14耐高溫高效過濾器,過濾率0.3μm粒子99.995%以上 | |||
氧含量 Oxygen content | <20ppm | |||
內(nèi)部尺寸 Chamber size | W600*D500*H600mm | W600*D500*H900mm | W800*D600*H1000mm | |
外部尺寸 Overall size | W1100*D800*H1400mm | W1100*D800*H1700mm | W1300*D900*H1800mm | |
容積 Volume | 180L | 270L | 480L | |
氮氣接口 Nitrogen interface | Φ12mm | |||
層架 Number of pallets | 2-5PCS | |||
電源 Power supply | AC380V 50HZ | |||
功率 Heating power | 4500W | 5500W | 7500W | |
操作運行模式 Operating Mode | PLC+7寸彩色觸摸屏 | |||
選配 Optional | φ25mm/φ50mm/φ100mm測試孔 Test hole | |||
獨立限溫保護器 Independent temperature limiting device | ||||
多點溫度監(jiān)控系統(tǒng) Multi point temperature monitoring | ||||
溫度校準 Temperature Correcti | ||||
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