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一、核心參數(shù)：  

價格區(qū)間：200萬-300萬  

儀器種類：電子束蒸發(fā)鍍膜機  

產(chǎn)地類別：國產(chǎn)  

應(yīng)用領(lǐng)域：微電子學(xué)  

基片尺寸：4寸（可定制）  

靶材：AL  

基片溫度范圍：RT-900oC  

成膜厚度均勻性：均一性<3%  

極限真空：<1E-9Torr  

二、約瑟夫森結(jié)超高壓系統(tǒng)：  

超高真空鍍膜設(shè)備專業(yè)制備約瑟夫森結(jié)制備，可精確生長所需的金屬層和氧化絕緣層，確保高性能制備及高成品率；此鍍膜儀有進樣室、氬離子清洗室、電子束蒸發(fā)室以及氧化室，共計四個高真空腔室，腔室間使用傳樣桿進行高真空傳樣，傳遞模組須采用抓取式設(shè)計；設(shè)備所有工藝均支持4英寸及以內(nèi)的晶圓或不規(guī)則樣品。設(shè)備整個工藝過程，可以按照用戶設(shè)置的參數(shù)自動化運行，工藝流程包括并不限于：抽真空，監(jiān)測氣壓，離子清洗，樣品位置調(diào)節(jié)、傳樣，加熱，電子束蒸發(fā)特定厚度設(shè)置，自動調(diào)整氣壓等。  

三、廈門韞茂科技有限公司為您提供超高真空鍍膜設(shè)備QBT-J的參數(shù)、價格、型號、原理等信息，QBT-J產(chǎn)地為福建、品牌為韞茂，型號為QBT-J，價格為200萬-300萬RMB，更多相關(guān)信息可咨詢，公司客服電話7*24小時為您服務(wù)。  

四、售后服務(wù)：  

保修期：1年  

是否可延長保修期：否  

現(xiàn)場技術(shù)咨詢：有  

免費培訓(xùn)：1.設(shè)備出廠前，提供至少2人一周的設(shè)備原廠培訓(xùn)。2.設(shè)備在現(xiàn)場完成安裝調(diào)試  

免費儀器保養(yǎng)：有需要可安排

保內(nèi)維修承諾：保修期內(nèi)（除天災(zāi)和人為損害外）部件、元件費用、出差費用均由我司承擔

報修承諾：質(zhì)保期內(nèi)出現(xiàn)故障時我司將及時響應(yīng)，并在8小時內(nèi)派技術(shù)人員到現(xiàn)場解決故障

五、技術(shù)參數(shù)：