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金屬密封熱式流量控制器

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  • 型號 5850EM系列
  • 品牌 其他品牌
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 晉中市
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更新時間:2022-06-08 10:51:25瀏覽次數(shù):962

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,能源,電氣
金屬密封熱式流量控制器/半導(dǎo)體流量控制器,在廣泛的工藝和應(yīng)用范圍內(nèi)擁有經(jīng)認可的長期穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性;由于性能可靠,因此投資回報率出眾;采用可拆卸式流量傳感器,因此無霧對氣壓進行連續(xù)監(jiān)測和重新調(diào)節(jié);由于慢擬量僅為輸入輸出,因此易于安裝和保養(yǎng)。

詳細介紹

金屬密封熱式流量控制器 半導(dǎo)體流量控制器特點:

●長明零點穩(wěn)定性,每年變動小于滿量程的0.2%

●能夠根據(jù)命令變化在 3秒內(nèi)完成設(shè)置并且過沖/下沖可忽略不計

●流量范圍究 -3 sccm至高達30,000 slpm

●高壓額定值-高達1,500 psi

●可選增強型內(nèi)部后處理工藝-5u 英寸Ra (平均值)

●可拆卸式流量傳感器

●不受安裝角度影響

●其他質(zhì)量流量控制器在機城和電設(shè)計方面兼容

●TTL兼容型閥關(guān)團和吹掃功能

 

金屬密封熱式流量控制器 半導(dǎo)體流量控制器優(yōu)勢:

●全金屬流路可確保件純度并降低范流風(fēng)險;

●在廣泛的工藝和應(yīng)用范圍內(nèi)擁有經(jīng)認可的長期穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性;

●由于性能可靠, 因此投資回報率出眾;

●采用可拆卸式流量傳感器,因此無霧對氣壓進行連續(xù)監(jiān)測和重新調(diào)節(jié);

●由于慢擬量僅為輸入輸出,因此易于安裝和保養(yǎng)。

 

產(chǎn)品應(yīng)用:

●光端機

●LED/MOCVD

●半與體

●太陽能

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