產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電氣 |
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產(chǎn)品簡介
詳細介紹
金屬密封熱式流量控制器 半導(dǎo)體流量控制器特點:
●長明零點穩(wěn)定性,每年變動小于滿量程的0.2%
●能夠根據(jù)命令變化在 3秒內(nèi)完成設(shè)置并且過沖/下沖可忽略不計
●流量范圍究 -3 sccm至高達30,000 slpm
●高壓額定值-高達1,500 psi
●可選增強型內(nèi)部后處理工藝-5u 英寸Ra (平均值)
●可拆卸式流量傳感器
●不受安裝角度影響
●其他質(zhì)量流量控制器在機城和電設(shè)計方面兼容
●TTL兼容型閥關(guān)團和吹掃功能
金屬密封熱式流量控制器 半導(dǎo)體流量控制器優(yōu)勢:
●全金屬流路可確保件純度并降低范流風(fēng)險;
●在廣泛的工藝和應(yīng)用范圍內(nèi)擁有經(jīng)認可的長期穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性;
●由于性能可靠, 因此投資回報率出眾;
●采用可拆卸式流量傳感器,因此無霧對氣壓進行連續(xù)監(jiān)測和重新調(diào)節(jié);
●由于慢擬量僅為輸入輸出,因此易于安裝和保養(yǎng)。
產(chǎn)品應(yīng)用:
●光端機
●LED/MOCVD
●半與體
●太陽能