INHA-氣體質(zhì)量流量計(jì)-模擬型
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基于多年的經(jīng)驗(yàn),我們未來(lái)將會(huì)成為一家專門(mén)從事真空部件銷(xiāo)售的公司,并且我們將始終致力于為真空行業(yè)中的工作人員提供幫助。我們?cè)趯W(xué)校和研究機(jī)構(gòu)中從事真空相關(guān)研究已有多年經(jīng)驗(yàn)。
我們還專門(mén)從事MFC的研究和生產(chǎn),并進(jìn)口代理和銷(xiāo)售用MFC。此外,我們配備了校準(zhǔn)器,可以通過(guò)提供MFC專業(yè)維修和組裝來(lái)解決技術(shù)問(wèn)題和交貨時(shí)間。
公司本著“追求好、精益求精"的精神,提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和快捷,細(xì)致,可靠的服務(wù),精誠(chéng)合作,共同進(jìn)步!
INHA-氣體質(zhì)量流量計(jì)-模擬型
氣體質(zhì)量流量計(jì)MF—200M |
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?三維尺寸圖 |
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nrfwn |
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?特征 |
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-響應(yīng)速厚快 |
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-準(zhǔn)確度高 |
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-精確的流量測(cè)量 |
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-寬壓力范圍 |
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-優(yōu)良的耐腐蝕性 |
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-出色的線性度 |
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-新型傳感制作工藝 |
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76 |
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• Sccm,Slm表示標(biāo)準(zhǔn)氣體流量(20°C 101.3Kpa) |
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?產(chǎn)品規(guī)格 |
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型號(hào) | MF-200M |
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流量規(guī)格(N2 ) 控制量程 準(zhǔn)確度 線性精度 重復(fù)精度 響應(yīng)時(shí)間 正常工作溫度范圍 正常工作壓力范圍 漏率 電源 信號(hào)類(lèi)型 密封類(lèi)型 控制類(lèi)型 連接器類(lèi)型 氣路接口類(lèi)型 接口類(lèi)型 材質(zhì) 預(yù)熱時(shí)間 | 10SCCM-30SLM 2%~100% of Full Scale <±1.0% of Full Scale(20,30SLM : <±1.5 Full Scale) <±0.5% of Full Scale <±0.2% of Full Scale <2 sec 0~50°C(Accuracy Guaranteed : 15~35°C) 0-100 Bar(g) 1x10-9 atm. cc/sec He + 15Vdcor24Vdc/300mA 0-5V or4-20mA Viton/Buna/Ka 1 rez/T eflon/Epd m X D-Sub 9 Pin Connector Male 1/4" , l/8n , 3/8"l/2"LOK , l/4nVCR Analog Type SUS 316L 15 min (Accuracy Guaranteed : 30 min ) |
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"X" |
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?電氣連接 |
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INHA |
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MASS FLOW Meter |
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nirmynffli |
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單位:mm |
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"X"尺寸規(guī)格 |
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Mass Flow Controller |
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and Meter |
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MF 200 Series |
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接口規(guī)格 |
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1/8"Lok |
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1/4HLok |
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3/8"Lok |
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l/2HLok |
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1/4 "VCR |
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1/2"VCR |
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mm |
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122.7 |
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127.3 |
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130.4 |
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134.4 |
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123.8 |
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131.4 |
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電氣連接方式 | 電壓電流型 |
編號(hào) | 功能 | MF-200M |
1 | 地 | • |
2 | + 15V/+24V 電源 | • |
3 | 空 | X |
4 | 信號(hào)公共端 | • |
5 | 空 | X |
6 | 0-5Vdc信號(hào)輸出 | • |
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7 |
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電源公共端 |
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MASS FLOW CONTROLLER |
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