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人們通常將材料分為導(dǎo)體、半導(dǎo)體和絕緣體三個(gè)大類。金屬材料是良好的導(dǎo)體材料，在電力方面，鋁及鋁合金和銅及銅合金材料是金屬材料中使用比較廣泛的導(dǎo)電材料，導(dǎo)電性能是這些材料關(guān)鍵的技術(shù)指標(biāo)。衡量材料的導(dǎo)電性能的常見電性能參數(shù)有：電阻率、電阻、電導(dǎo)、電導(dǎo)率、導(dǎo)電率以及電阻溫度系數(shù)、電阻率溫度系數(shù)等。我公司新研發(fā)渦流法電阻率測試儀，非接觸式測試，不損傷晶圓表面，方面快捷。

渦流法主要用于非接觸式，可測量1E-3（1m）至1E + 4（10k）Ω/□電阻范圍。

它可用于半導(dǎo)體，化合物半導(dǎo)體，液晶和新型碳基材料等廣泛領(lǐng)域的測量。

渦流測量系統(tǒng)使用電磁感應(yīng)產(chǎn)生的渦流來測量電阻。

非接觸式測量探頭單元的探頭芯（磁性材料）在兩側(cè)（上下）以一定的間隙排列

可以更好地測試硅片、碳化硅、氮化鎵、氧化鎵等材料