是一款汞探針CV自動(dòng)圖形掃描測(cè)量系統(tǒng)。它使用高頻CV測(cè)量分析系統(tǒng)，可以對(duì)75mm、100mm、125mm、150mm、200mm（以及300mm）直徑的測(cè)試片進(jìn)行測(cè)量和自動(dòng)成圖。該系統(tǒng)采用的汞探針設(shè)計(jì)，從而允許測(cè)試片正面朝上，相比于傳統(tǒng)的汞探針測(cè)試系統(tǒng)將測(cè)試片正面朝下吸附在樣品臺(tái)上而言，該設(shè)計(jì)能夠避免在成圖測(cè)量時(shí)的表面沾污和破壞。探針的CV系統(tǒng)是一種雙極測(cè)試設(shè)備，兩個(gè)接口被分別連接在樣品的兩個(gè)電極上。實(shí)際的CV測(cè)試包括兩個(gè)方面：在樣品電極上施加反向（或正向）偏置電壓；測(cè)試兩個(gè)接口之間的電容。

金屬電極和耗盡區(qū)構(gòu)成一個(gè)極板電容，這和兩塊金屬板構(gòu)成的空氣電容類(lèi)似。當(dāng)反偏電壓越來(lái)越大時(shí)，耗盡層越來(lái)越深，對(duì)應(yīng)的電容會(huì)越來(lái)越小。從測(cè)到的電容電壓數(shù)據(jù)對(duì)，我們可以分析計(jì)算出摻雜濃度隨深度的變化曲線(xiàn)。從得到的曲線(xiàn)可以進(jìn)一步判斷摻雜濃度在深度分布上是否均勻等