產(chǎn)品展示
CV-1000切割硅片導(dǎo)輪輪廓測(cè)量?jī)x
【簡(jiǎn)單介紹】
【詳細(xì)說(shuō)明】
日本三豐輪廓測(cè)量?jī)xCV-1000 CV-2000
簡(jiǎn)單介紹
◆數(shù)字檢出型輪廓形狀測(cè)定機(jī) CV-1000N2/2000M4 特長(zhǎng):■由于將X軸、Z軸加以數(shù)字化,所以不必*仰賴于測(cè)定倍率的大小,即可做到大范圍的高分解能測(cè)定。■與計(jì)算機(jī)連接并加上計(jì)算機(jī)解析軟件「Formpak-1000」,即可做出各式各樣的測(cè)定與分析。■若不連接計(jì)算機(jī),亦可連接XY繪圖機(jī),并可在繪圖機(jī)的數(shù)據(jù)處理機(jī)上先行確認(rèn)圖形或量測(cè)方式是否正確。
◆數(shù)字檢出型輪廓形狀測(cè)定機(jī) CV-1000N2/2000M4 特長(zhǎng):■由于將X軸、Z軸加以數(shù)字化,所以不必*仰賴于測(cè)定倍率的大小,即可做到大范圍的高分解能測(cè)定。■與計(jì)算機(jī)連接并加上計(jì)算機(jī)解析軟件「Formpak-1000」,即可做出各式各樣的測(cè)定與分析。■若不連接計(jì)算機(jī),亦可連接XY繪圖機(jī),并可在繪圖機(jī)的數(shù)據(jù)處理機(jī)上先行確認(rèn)圖形或量測(cè)方式是否正確。
技術(shù)參數(shù)
X軸 | 測(cè)量范圍 | 50mm(CV-1000)或100mm()CV-2000 | |
分辨率 | 0.2μm | ||
測(cè)量方法 | 反射型光柵尺 | ||
驅(qū)動(dòng)速度 | 0.2mm/s | ||
測(cè)量速度 | 0.02-5mm/s | ||
測(cè)量方向 | /向后 | ||
直線度 | 3.5μm /50mm 1.5μm/mm(當(dāng)X軸在水平方向上 | ||
指示精度 (20℃) | ±(3.5+2L/100)μm L為驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度(mm) | ||
傾斜范圍 | ±45°(CV-2000) | ||
Z1軸 | 測(cè)量范圍 | 25mm(CV-100)或40mm(CV-2000) | |
分辨率 | 0.4μm(CV-1000系列) 0.5μm(CV-2000系列) | ||
測(cè)量方法 | 弧形編碼器 | ||
指示精度 (20℃) | ±(3.5+14H/25)μm) H為水平位置上的測(cè)量高度(mm) | ||
探針上下運(yùn)作 | 弧形運(yùn)動(dòng) | ||
探針?lè)较?/span> | 向下 | ||
測(cè)力 | 10-30mN | ||
跟蹤角度 | 向上 | 77° | |
向下 | 87° | ||
探針針尖 | 半徑 | 25μm | |
材料 | 硬質(zhì)合金針尖 | ||
基座尺寸(H) | 750x600mm(CV-2000) | ||
基座材料 | 花崗巖(CV-2000) | ||
重量 | 主機(jī) | 5kg(CV-10000N2)、115.8kg(CV-2000M4)、124kg(CV-2000S4) | |
控制裝置 | 14kg | ||
遙控箱 | 0.9kg | ||
電源 | 100-240VAC±10% 50/60Hz | ||
能耗 | 150W僅限主機(jī) |
性能參數(shù)
型號(hào) | CV-1000N2 | CV-2000N4 | CV-2000S4 |
X1軸測(cè)量范圍 | 50mm | 100mm | 100mm |
Z1軸測(cè)量范圍 | 25mm | 40mm | 40mm |
Z2軸測(cè)量范圍 | - | 250mm | 320mm |
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