XNC-KDY-4型四探針電阻率測(cè)試儀
(以下簡(jiǎn)稱(chēng)電阻率測(cè)試儀)是用來(lái)測(cè)量半導(dǎo)體材料(主要是硅單晶、鍺單晶、硅片)電阻率,以及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電薄膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測(cè)量?jī)x器。它主要由電氣測(cè)量部份(簡(jiǎn)稱(chēng):主機(jī))、測(cè)試架及四探針頭組成。
本儀器的特點(diǎn)是主機(jī)配置雙數(shù)字表,在測(cè)量電阻率(電壓表)的同時(shí),另一塊數(shù)字表(電流表以千分之二的精度)適時(shí)監(jiān)測(cè)全程的電流變化,免除了測(cè)量電流/測(cè)量電阻率的轉(zhuǎn)換,更及時(shí)掌控測(cè)量電流。主機(jī)還提供精度為0.05%的恒流源,使測(cè)量電流高度穩(wěn)定。本機(jī)配有恒流源開(kāi)關(guān),在測(cè)量某些箔層材料時(shí),在探頭壓觸樣品后再接通恒流源可免除探針尖與被測(cè)材料之間接觸火花的發(fā)生,更好地保護(hù)薄膜。儀器配置了本公司的產(chǎn)品:“小游移四探針頭",探針游移率在0.1~0.2%。保證了儀器測(cè)量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度。
XNC-KDY-4型四探針電阻率測(cè)試儀 主機(jī)技術(shù)參數(shù)
(1)測(cè)量范圍:
可測(cè)電阻率:0.001~1999Ω•cm(10-3~10+3Ω•㎝)
可測(cè)方塊電阻:0.01~19000Ω/□(10-2~10+4Ω/□)
注意:使用0.1檔電流測(cè)方阻時(shí),由于受數(shù)字表位數(shù)的限制,電壓表上讀出的方阻數(shù)均要×10。
例如電流表在0.1mA檔,電流選0453,
電壓表讀數(shù)為1900時(shí), 方阻值為:1900×10=19000(Ω/□);
電壓表讀數(shù)為860時(shí),方阻值為:860×10=8600(Ω/□)。
電流表選在1、10、100 mA檔時(shí)不存在以上問(wèn)題。
(2)恒流源:
輸出電流:DC 0.01~100mA 四檔連續(xù)可調(diào)
量程:0.01~0.10mA,0.10~1.0mA,1.0~10mA,10~100mA
恒流精度:各檔均不低于±0.05%
(3)直流數(shù)字電壓表:
測(cè)量范圍:0~199.9mV
靈敏度:100μV
準(zhǔn)確度:0.2%(±2個(gè)字)
輸出電阻:≥1000MΩ
(4)供電電源:
AC 220V±10% 50/60 Hz 功率:12W
(5)使用環(huán)境:
溫度:23±2℃ 相對(duì)濕度:≤65%
無(wú)較強(qiáng)的電場(chǎng)干擾,無(wú)強(qiáng)光直接照射
(6)重量、體積:
主機(jī)重量:4.8 kg
體積:425×342×158(單位:mm 長(zhǎng)度×寬度×高度)