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?CTRM 700熱反射式激光共聚焦顯微鏡

CTRM700 是韓國(guó)?????所研發(fā)并由韓國(guó)Nanoscope System 進(jìn)行商業(yè)化運(yùn)營(yíng)的熱反射式激光共聚焦顯微鏡。

CTRM 700 利用的是激光共聚焦掃描的方法測(cè)量樣品表面或內(nèi)部特定表面上溫度變化引起的反射率變化的分布來(lái)獲取樣品的熱分別圖像。

Principles & Benefits（性能及優(yōu)勢(shì)）：

熱反射顯微鏡（Thermal Reflectance Microscope) 是一種基于測(cè)量樣品表面光反射率變化而測(cè)量樣品溫度變化的一種技術(shù)。

共聚焦熱反射顯微技術(shù)是一種激光掃描共聚焦方法，它可以在局部區(qū)域獲得比傳統(tǒng)熱成像技術(shù)（紅外成像技術(shù)）更高分辨率的熱成像圖像。

Application field（應(yīng)用領(lǐng)域）：

半導(dǎo)體器件熱特性的測(cè)量與分析：

-柔性顯示面板缺陷檢查

-OLED內(nèi)部缺陷檢查

-高輸出功率裝置發(fā)熱特性的測(cè)量與分析

-傳感器單元的紅外圖像分析

-氧化物薄膜晶體管的熱特性

-3D堆疊半導(dǎo)體熱特性的測(cè)量分析

-OLED 器件的熱特性分析

-氣體傳感器的MEMS裝置的熱特性測(cè)量和分析

-InGaZnO薄膜晶體管的發(fā)熱特性及可靠性分析

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Specification（規(guī)格）