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參考價

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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品牌 其他品牌
型號
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
所在地 合肥市

屬性

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更新時間：2024-06-04 13:41:28瀏覽次數(shù)：6021評價

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產(chǎn)品分類品牌分類

芯片加工設(shè)備

激光切割機(jī)

熱壓鍵合機(jī)

等離子清洗機(jī)

光刻機(jī)

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產(chǎn)品簡介

價格區(qū)間	面議	儀器種類	微流控芯片系統(tǒng)
應(yīng)用領(lǐng)域	醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,電子

URE-2000/35型紫外光刻機(jī)，采用三柔性支點(diǎn)實(shí)現(xiàn)高精度自動調(diào)平；真空接觸自動曝光；樣片升降、調(diào)平、接觸、曝光、復(fù)位實(shí)現(xiàn)自動化控制。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品名稱：URE-2000/35型紫外光刻機(jī)

主要技術(shù)指標(biāo)：

曝光面積：100mm×100mm

分辨力：1um（膠厚1.5μm的正膠）

對準(zhǔn)精度：±0.8μm

大膠厚：300μm（SU8膠）

掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch

樣片尺寸：直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為15mm)；

照明均勻性：±4%（Ф100mm 范圍）

汞燈功率：350W（直流）

掩模相對于樣片運(yùn)動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°

URE-2000/35型紫外光刻機(jī)技術(shù)特點(diǎn)：

創(chuàng)新采用三柔性支點(diǎn)實(shí)現(xiàn)高精度自動調(diào)平；真空接觸自動曝光；樣片升降、調(diào)平、接觸、曝光、復(fù)位實(shí)現(xiàn)自動化控制；采用積木錯位蠅眼透鏡實(shí)現(xiàn)高均勻照明；可連續(xù)設(shè)定分離間隙；采用雙目雙視場顯微鏡實(shí)現(xiàn)高對準(zhǔn)精度。整機(jī)具有性能可靠、操作方便、自動化程度高等特點(diǎn)。