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Edmund 極紫外 (EUV) 二向色濾光片

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更新時間：2024-11-14 21:00:07

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產(chǎn)品簡介詳細介紹

Edmund 極紫外 (EUV) 二向色濾光片，也稱為光束分離器，旨在通過在 EUV 和 NIR 波長之間提供高分離效率，用于高諧波產(chǎn)生應(yīng)用。這些濾光片采用高損傷閾值多層增透膜設(shè)計，支持比布魯斯特角光束分離器和 EUV 濾光片更高的激光功率。 EUV 二向色濾光片具有從 5nm 到 40nm 的寬帶寬范圍。

Edmund 極紫外 (EUV) 二向色濾光片

將 EUV 與 NIR 激光源分開
透射型熔融石英設(shè)計最大限度地延長組件使用壽命
支持 13.5nm、20nm 和 30nm 應(yīng)用

Edmund 極紫外 (EUV) 二向色濾光片，也稱為光束分離器，旨在通過在 EUV 和 NIR 波長之間提供高分離效率，用于高諧波產(chǎn)生應(yīng)用。這些濾光片采用高損傷閾值多層增透膜設(shè)計，支持比布魯斯特角光束分離器和 EUV 濾光片更高的激光功率。 EUV 二向色濾光片具有從 5nm 到 40nm 的寬帶寬范圍。除了產(chǎn)生高次諧波外，這些反射鏡還可用于支持 EUV 應(yīng)用的系統(tǒng)，例如 EUV 光刻、EUV 納米加工和等離子體實驗。

通用規(guī)格

尺寸容差 (mm):	+0.0/-0.2	直徑 (mm):	50.80
厚度 (mm):	5.08 ±0.1	鍍膜:	Dielectric Multilayer AR
基底:	Fused Silica	表面質(zhì)量:	20-10
平行度（弧分）:	<5	面形計算 (RMS):	<λ/10 @ 633nm