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產(chǎn)地類別	國(guó)產(chǎn)	產(chǎn)品種類	電動(dòng)
價(jià)格區(qū)間	面議	應(yīng)用領(lǐng)域	綜合

FMSR-AB高精度氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)

FMSR-AB高精度氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)

l閉式氣浮軸承結(jié)構(gòu)

l直驅(qū)驅(qū)動(dòng)，零齒槽效應(yīng)

l微米級(jí)跳動(dòng)誤差

l免費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)版SDK

l高性能控制器

l可選配EtherCAT總線控制

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

FMSR-AB高精度氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)：我們研發(fā)的FMSR-AB系列氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)采用經(jīng)過(guò)特殊設(shè)計(jì)的空氣軸承,該軸承分別對(duì)剛度、承載能力和剛度進(jìn)行了優(yōu)化。與傳統(tǒng)的軸承相比,采用氣體為潤(rùn)滑劑,因此所有運(yùn)動(dòng)都是無(wú)接觸的,因此在整個(gè)使用壽命之內(nèi),設(shè)備的性能保持不變,并且無(wú)需進(jìn)行特殊維護(hù)。該旋轉(zhuǎn)臺(tái)采用氣體軸承可提供平穩(wěn)的運(yùn)動(dòng)并擁有極低的俯仰、偏擺、滾動(dòng)、偏航和線性誤差。另其具有清潔、無(wú)污染、無(wú)摩擦、運(yùn)行阻尼小、使用壽命久等*性能。

產(chǎn)品應(yīng)用

l圓度測(cè)量系統(tǒng)

l微米或納米斷層掃描成像

l精密制造

l同步輻射或X射線

l半導(dǎo)體行業(yè)

產(chǎn)品圖紙

FMSR150-AB

FMSR-AB高精度氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)

FMSR200-AB

FMSR-AB高精度氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)

FMSR250-AB

FMSR-AB高精度氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)

產(chǎn)品參數(shù)

Model	FMSR150-AB	FMSR200-AB	FMSR250-AB
?程(°)	360	360	360
額定扭矩(N.M)	0.54	1.9	4.2
峰值扭矩(N.M)	2.2	5.8	15.8
負(fù)載(Kg)	30	30	60
分辨率(arcsec)	0.2	0.2	0.2
最?步進(jìn)量(arcsec)	1	1	1
單向重復(fù)定位精度/保證值(arcsec)	±2 or 4	±2 or 4	±2 or 4
單向重復(fù)定位精度/典型值(arcsec)	±1 or 2	±1 or 2	±1 or 2
雙向重復(fù)定位精度/保證值(arcsec)	±3 or 6	±3 or 6	±3 or 6
雙向重復(fù)定位精度/典型值(arcsec)	±2 or 4	±2 or 4	±2 or 4
定位精度/保證值(arcsec)	±5 or 10	±5 or 10	±5 or 10
定位精度/典型值(arcsec)	±4 or 8	±4 or 8	±4 or 8
最?速度(RPM)	200	200	120
端跳(μm)	1	2	2
徑跳(μm)	0.05	0.05	0.05
供氣壓力(MPa)	0.4-0.6	0.4-0.6	0.4-0.6
重量(kg)	15	25	30