產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)業(yè) |
---|
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
設(shè)備名稱 | 1200℃ 4溫區(qū)坩堝可移動(dòng)型管式爐-OTF-1200X-IV-HPCVD |
主要特點(diǎn) | · 爐子配備步進(jìn)電機(jī),通過觸摸屏數(shù)字控制器使樣品臺(tái)或坩堝在爐管內(nèi)移動(dòng)。· 最高溫度可達(dá)1200℃。 ·雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),可有效降低殼體表面溫度。 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長儀器的使用壽命。 |
基本參數(shù) | ·最高溫度∶ 1200℃(≤30nin)工作溫度∶ 1100℃ ·推薦升溫速率∶≤10℃/min ·加熱區(qū)長度∶ 總長度400mm,四個(gè)加熱區(qū),每個(gè)加熱區(qū)長度100mm · 加熱元件∶摻鉬鐵鉻鋁合金 ·電壓∶220v · 最大功率為∶3.5KV ·通過機(jī)械泵可達(dá)到75mTorr |
真空密封 | ·高純石英管50mmy外徑x44nm內(nèi)徑x 680mm長 ·采用KF結(jié)構(gòu)密封法蘭,硅膠密封圈密封 ·法蘭上安裝有一個(gè)機(jī)械壓力表 ·右端法蘭與一個(gè)真空不銹鋼波紋管連接 |
PLC控制 | ·一個(gè)直徑為1/4"的鎧裝熱電偶(k型),通過法蘭伸入到爐管中,并可隨坩堝移動(dòng),可實(shí)時(shí)監(jiān)測樣品的實(shí)際溫度。 ·通過步進(jìn)電機(jī)移動(dòng)爐管內(nèi)的坩堝(樣品臺(tái)),最大行程為400mm(1#溫區(qū)至4#溫區(qū)距離)。·通過觸摸屏設(shè)定坩堝一定的距離和目標(biāo)位置,坩堝移動(dòng)速度為1-180mm/min ·在熱電偶上安裝了一個(gè)微型石英坩堝舟。 |
溫控系統(tǒng) | *采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,可設(shè)置30段升降溫程序 *溫控儀表中帶有過熱和斷偶保護(hù) *儀表控溫精度:+/-1°C *熱電偶型號(hào):K型 |