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巨力光電(北京)科技有限公司>>激光光束質(zhì)量分析儀>> NIR/EUV波前曲率傳感器

波前曲率傳感器

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參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào) NIR/EUV
  • 品牌 其他品牌
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 所在地 北京市
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更新時(shí)間:2024/08/20 10:54:33瀏覽次數(shù):256

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波前曲率傳感器/壓電驅(qū)動(dòng)微動(dòng)平臺(tái),裝配CCD相機(jī),光束方向快速移動(dòng),臨近位置光束剖面/形貌分析,波前推導(dǎo)CCD像素級(jí)分辨,光束傳播參數(shù)分析(M2、瑞利長(zhǎng)度、束腰直徑),Zernike分析畸變控制,采用自我參考法,無(wú)光束相干要求,緊湊式設(shè)計(jì),在線檢測(cè)。

詳細(xì)介紹

波前曲率傳感器


主要特點(diǎn)

        波前曲率傳感器壓電驅(qū)動(dòng)微動(dòng)平臺(tái),裝配CCD相機(jī)

        光束方向快速移動(dòng)

        臨近位置光束剖面/形貌分析

        波前推導(dǎo)CCD像素級(jí)分辨

        光束傳播參數(shù)分析(M2、瑞利長(zhǎng)度、束腰直徑)

        Zernike分析畸變控制

        采用自我參考法

        無(wú)光束相干要求

        緊湊式設(shè)計(jì),在線檢測(cè)


操作原理


波前曲率傳感器


波前曲率傳感器技術(shù)規(guī)格

        CCD相機(jī)USB3.0通訊

        空間分辨率<10um

        多種傳感器覆蓋光譜范圍:1100nm (NIR) to 1nm (soft x‐rays)

        實(shí)時(shí)波前分析

        測(cè)試依據(jù)ISO標(biāo)準(zhǔn)


光束測(cè)試軟件

波前曲率傳感器


測(cè)試基于ISO標(biāo)準(zhǔn)

Parameter

Standard

Beam diameter光束直徑

ISO 11146

Divergence

ISO 11146

Beam profile光束剖面

ISO 13694

Pointing 指向/ pos. Stability位置穩(wěn)定性

ISO 11670

M2 質(zhì)量因子/ Focusability聚焦性

ISO 11146

Wavefront 波前 / Phase distribution相位分布

ISO 15367

Coherence 相干

-

Around 20 various camera types are supported





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