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實(shí)驗(yàn)室氣路工程規(guī)劃設(shè)計(jì)

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更新時(shí)間:2021-09-03 16:06:41瀏覽次數(shù):692

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實(shí)驗(yàn)室氣路工程規(guī)劃設(shè)計(jì)主要由氣源切換系統(tǒng)、管道系統(tǒng)、調(diào)壓系統(tǒng)、用氣點(diǎn)、監(jiān)控及報(bào)警系統(tǒng)組成。對(duì)于一些易燃易爆氣體,如氫氣、乙炔等,可能在設(shè)計(jì)和施工過(guò)程中稍有差異,必須加入氣體回火防止器等安全控制裝置。

詳細(xì)介紹

實(shí)驗(yàn)室氣路工程規(guī)劃設(shè)計(jì)要求科學(xué)、高效、安全、便利的原則。

采用不銹鋼材質(zhì)管路以及不銹鋼街頭卡套,全通閥芯,堅(jiān)固耐用。

實(shí)驗(yàn)室氣路工程規(guī)劃設(shè)計(jì)使用*的自動(dòng)焊接施工工藝安裝管道、減壓器、壓力表、高壓金屬軟管、鋼瓶接頭、焊接接頭、卡套接頭、不銹鋼潔凈管等。

(1)易燃性氣體

把自燃、易燃、可燃?xì)怏w等都定義為這類(lèi)氣體。如常溫下的SiH4氣體只要與空氣接觸就會(huì)燃燒,當(dāng)環(huán)境溫度達(dá)到一定時(shí),PH3與B2 H6等氣體也會(huì)產(chǎn)生自燃??扇?*氣體都有一定的著火燃燒爆炸范圍,即上限、下限值。此范圍越大的氣體起爆炸燃燒危險(xiǎn)性就越高,如B 2H6的爆炸上限為98%,爆炸下限為0.9%。屬于**氣體有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3 。

(2)毒性氣體(Toxic Gas):半導(dǎo)體制造行業(yè)中使用的氣體很多都是對(duì)人體有害、有毒的。其中又以AsH3, B 2H6,PH3等氣體的毒性大,它們的閾限值TLV(Threshold Limited Valve)分別只有50×10-9,100×10 -9,300×10-9。這些氣體在工作環(huán)境中的允許濃度極微,因此在貯存、輸送以及使用的過(guò)程中都要求特別的小心。一般都應(yīng)該采取特定的技術(shù)措施來(lái)控制使用這些氣體。NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都屬于毒性氣體。

(3)腐蝕性氣體(Corrosive Gas):這些腐蝕性氣體通常同時(shí)也兼有較強(qiáng)的毒性。腐蝕性氣體在干燥狀態(tài)下一般不易侵蝕金屬,但在遇到水的環(huán)境下就顯示出很強(qiáng)的腐蝕性,如HCl, HF, PCl3, SiF4,ClF3,WF6等。

(4)惰性氣體(Inert Gas): 隋性氣體本身一般不會(huì)直接對(duì)人體產(chǎn)生傷害,在氣體傳輸過(guò)程中,相對(duì)于安全上的要求不如以上其他氣體嚴(yán)格。但惰性氣體具有窒息特性,在密閉空間若發(fā)生泄漏會(huì)使人窒息而造成工傷事故。屬于這類(lèi)的氣體有C2 F6,CF4,SF6,CHF 3等。

(5)氧化性氣體(Oxide Gas):這類(lèi)氣體有較強(qiáng)的氧化性,一般同時(shí)具有其他特性,如毒性或腐蝕性等。屬于這類(lèi)的氣體有ClF3 ,Cl2,NF3等。

氣體管路壓力測(cè)試要求

1、管道試壓應(yīng)全面檢查,檢查已安裝的管道、管件、閥門(mén)、緊固件和支架等,質(zhì)量應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求和技術(shù)規(guī)范的規(guī)定。

2、管道試壓應(yīng)編制試壓計(jì)劃,根據(jù)工作壓力系統(tǒng)進(jìn)行試壓。一般來(lái)說(shuō),在相同的大氣環(huán)境中,不需要對(duì)非壓力管道進(jìn)行壓力測(cè)試,例如排氣管和排水管。

3.試壓前,應(yīng)使用盲板將不能進(jìn)行試壓的設(shè)備與管道和不同于壓力系統(tǒng)的管道系統(tǒng)隔離開(kāi)來(lái)。不應(yīng)與管道系統(tǒng)一起進(jìn)行壓力測(cè)試的管道附件應(yīng)拆除。短管的臨時(shí)安裝。

4.管道中的所有開(kāi)口應(yīng)關(guān)閉,系統(tǒng)中的閥門(mén)應(yīng)打開(kāi)。系統(tǒng)高點(diǎn)應(yīng)配備排氣閥,低點(diǎn)應(yīng)配備排水閥。5.壓力試驗(yàn)期間,應(yīng)使用精度等級(jí)在1.5以上的兩個(gè)壓力表。

5.壓力表的測(cè)量范圍應(yīng)為被測(cè)大壓力的1.5~2倍。一個(gè)壓力表應(yīng)安裝在試壓泵的出口,另一個(gè)壓力表應(yīng)安裝在系統(tǒng)壓力波動(dòng)相對(duì)較小的其他位置。

6.試壓時(shí),壓力應(yīng)緩慢升至試驗(yàn)壓力,并觀察管道各部分的情況。如果發(fā)現(xiàn)問(wèn)題,應(yīng)在卸壓后進(jìn)行修理,禁止帶壓修理。缺陷消除后,重新測(cè)試壓力。

7、壓力試驗(yàn)時(shí),無(wú)關(guān)人員不能進(jìn)入,以防受傷。

8.對(duì)于劇毒管線和設(shè)計(jì)壓力P≥10Mpa的管線,在試壓前,設(shè)計(jì)單位應(yīng)根據(jù)規(guī)范要求對(duì)所有數(shù)據(jù)進(jìn)行復(fù)核,并確認(rèn)無(wú)誤。

9.壓力試驗(yàn)計(jì)劃已獲批準(zhǔn),并已進(jìn)行技術(shù)交底。

10.管道系統(tǒng)試驗(yàn)合格后,應(yīng)及時(shí)填寫(xiě)《管道系統(tǒng)壓力試驗(yàn)記錄》,并由相關(guān)人員簽字確認(rèn)。


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