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當前位置:武漢賽斯特精密儀器有限公司>>半導(dǎo)體測試儀器解決方案>>材料分析儀器>> 鐳射定位激光開封系統(tǒng)
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所 在 地武漢市
更新時間:2023-01-19 14:28:58瀏覽次數(shù):187次
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鐳射定位激光開封系統(tǒng)
是實驗室聯(lián)合英國GMATG公司推出的激光開封系統(tǒng),針對半導(dǎo)體失效分析實驗室應(yīng)用場景設(shè)計,根據(jù)不同材料對激光吸收特性的不同,選擇性刻蝕。采用定制的激光器、控制器,可適用高達99%的封裝材料,光斑質(zhì)量好,壽命長,保證最佳匹配無損晶圓及線材的激光開封。開封參數(shù)可精確控制,確保線材無損、開封的后IC可以保留焊盤,將芯片及壓焊打線的情況清晰展現(xiàn)。同時取代機械開封、化學(xué)開封、傳統(tǒng)制模、機械切割研磨等z制樣工藝,大大降低開封成本,節(jié)省開封時間,提高開封良率。
激光開封系統(tǒng)主要構(gòu)成:激光器、光路系統(tǒng)、工作臺、控制系統(tǒng)、定位系統(tǒng)、抽塵系統(tǒng)、CCD視覺系統(tǒng)、風(fēng)冷和水冷系統(tǒng)等。采用自研發(fā)的控制軟件、直接導(dǎo)入CAD數(shù)據(jù)進行激光刻蝕,操作簡單。設(shè)備集數(shù)控技術(shù)、激光技術(shù)、軟件技術(shù)等光機電高技術(shù)于一體,具有高靈活性、高精度、高速度等*制樣技術(shù)的特征。適用于各種塑料封裝形式的IC開封,LED透明硅膠和環(huán)氧樹脂,為各種類型的半導(dǎo)體失效分析應(yīng)用(如半導(dǎo)體器件開蓋和剖面)提供清晰,精確的測試樣品.
化學(xué)開封 VS 金鑒激光系統(tǒng)開封:
傳統(tǒng)的化學(xué)開封前期準備工具繁瑣、耗時不省心,大多開封化學(xué)試劑具有毒性、腐蝕性和揮發(fā)性,會刺激呼吸道,長期接觸容易誘發(fā)呼吸道疾病和皮炎,如果沾染皮膚會造成燒傷,嚴重者內(nèi)臟器官受到傷害甚至休克,也有可能會影響到生育。
由于化學(xué)開封對人體危害較大,對于現(xiàn)代的很多員工來說,考慮到自身健康,不愿從事化學(xué)開放的工作,而激光開封安全無毒,環(huán)境友好,采用激光開封利于增加團隊的穩(wěn)定性。而激光開封相比化學(xué)開封可以做到更加精密,線寬更窄,線間距更小,操作簡便,隨時都可以導(dǎo)入圖形或直接繪制圖形加工,不受限制,特別適合于實驗室階段。從穩(wěn)定性、良品率、耗材、環(huán)保、綜合成本等多種因素考慮,激光開封的優(yōu)勢也更加明顯。為此,鐳射定位激光開封系統(tǒng),幫助客戶解決塑封器件開封的煩惱。
功能介紹:
1.自開發(fā)的軟件,鐳射定位系統(tǒng),微米級精準逐層開封!
(1)鐳射定位系統(tǒng),精準定位開封位置。
(2)可精確控制每一層激光掃描能量,每層移除厚度可控制在10~100 μm,精準定位開封區(qū)域,暴露引線框架,邦定線,基板,甚至直接無損開封至芯片的晶圓層。
(3)顯著節(jié)省后續(xù)工藝時間。
(4)電腦控制開封形狀、位置、大小、時間等,操作便利。
2. 配備風(fēng)冷和水冷降溫系統(tǒng),功率可調(diào),大程度上減少激光對金屬材料的熱影響
(1)可開封高達99%的封裝材料,環(huán)氧樹脂,硅膠等。
(2)可適合各種硅膠、塑料封裝形式的IC開封,包括DIP、SOP、PDIP,PLCC,PQFP,SOIC,BGA以及COB去黑膠等。
(3)適用多芯片、多細線材塑封器件樣開封!
傳統(tǒng)化學(xué)開封方式對多芯片樣品束手無策,原因在于長時間的化學(xué)開封溶解膠體的同時,也會溶解芯片固晶層和焊線金屬,降低焊點結(jié)合力,導(dǎo)致在超聲波清洗后,焊線斷裂,芯片脫離,失去樣品原始原貌,無法分析。
同樣道理,對于細線塑封器件,化學(xué)開封極易損傷焊線金屬,而傳統(tǒng)的激光開封由于熱影響,較細的焊線很容易受到熱損傷,在超聲波清洗之后,發(fā)生焊線斷裂的現(xiàn)象。
(4)銅線產(chǎn)品的有效解決方案。由于銅線低廉的價格及性能方面的優(yōu)勢,如今內(nèi)引線為銅材質(zhì)的塑封器件已經(jīng)得到廣泛的應(yīng)用,而銅卻容易與酸發(fā)生反應(yīng)而被腐蝕,傳統(tǒng)的酸開封已經(jīng)沒有辦法完成銅制成器件的開封,良率一般低于30%,激光開封機給分析產(chǎn)業(yè)帶來了新的技術(shù)。
(5)其大功率模式可清潔封裝材料中的大顆粒填充料
3. CCD視覺系統(tǒng)
(1)可視化觀察樣品,實時追蹤、顯示加工過程。
(2)數(shù)字化變焦設(shè)計,精確定位至單根鍵合線或單個鍵合點缺陷,精確定位剖面位置。
(3)通過視覺CCD控制系統(tǒng),針對超微小尺寸,可實現(xiàn)精準定位,框選,分離,隔帶掃描,全/部分開封暴露邦定線,美清除線下樹脂殘留。
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