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詳細(xì)介紹
Sekidenko OR4000E 外延片測溫儀主要特點
多通道測量，通道數(shù)可達(dá)2個
多波長測量，波長范圍：UV … 2300nm
各通道獨立配置波長，發(fā)射率和光纖鏡頭/光導(dǎo)管
發(fā)射率實時測量
RF、EMI免疫，可用于強電磁干擾環(huán)境
詳細(xì)說明
OR4000多通道光纖溫度計（OFT）是OR2000的升級產(chǎn)品。 OR4000E較OR4000TE額外增加了實時發(fā)射率測量功能。
OR4000E使用主動發(fā)射率補償功能進行精確的溫度測量，以在變化的發(fā)射率條件下進行精確的測量和控制。讀取速率高達(dá)2 kHz，能夠準(zhǔn)確跟蹤快速的溫度變化。 在動態(tài)應(yīng)用中，這可以實現(xiàn)閉環(huán)溫度控制并優(yōu)化工藝產(chǎn)量。
OR4000T可根據(jù)目標(biāo)材料、工藝溫度范圍和工作距離(100 mm 到 3000 mm)，為各個通道配置不同測量波長。
典型應(yīng)用
Epi
CVD
MOCVD
其它基板發(fā)射率變化的工藝
技術(shù)參數(shù)
| 通用參數(shù) | |
配置 | 1-4通道溫度測量，各通道獨立配置 |
溫度范圍 | 50 至 3500°C |
實時發(fā)射率范圍 | 0.03 to 1.0 |
| 波長 | UV 至 2300 nm |
| 讀取速率 | 溫度讀取速率， 2KHz 用于實時發(fā)射率測量，500Hz |
| 測溫精度 | ±1.5°C |
控制/重復(fù)精度 | ±0.1°C |
| 分辨率 | 0.001°C |
| 接口 | |
| 屏幕顯示 | 內(nèi)置，4 x 20 LCD 顯示，鍵盤輸入 |
| 數(shù)據(jù) I/O | RS-232, RS-422/485, 和 Ethernet |
| 模擬輸出 | 0 至 10 V 或 4 - 20 mA |
| 電參數(shù) | |
輸入電壓 | AC: 90 to 263 VAC, 47 to 63 Hz DC: +24 VDC |
| 環(huán)境參數(shù) | |
| 使用環(huán)境 | 5 to 40°C (64 to 104°F), 非凝露 |
| 物理特性 | |
| 物理尺寸 | 8.6 cm (H) x 15.2 cm (W) x 21.8 cm (D) 3.4" (H) x 6.0" (W) x 8.6" (D) |
| 重量 | 4.5 lb (2 kg) |
| 安裝 | 外殼底部，M5 X 0.75螺紋（有關(guān)更多信息，請參閱手冊） |
| 電源線電流 | 100 VAC時,小于0.7A |
| 響應(yīng)時間 | 小于2ms @ 2KHz的采樣率（僅溫度測量） |
Sekidenko OR4000E 外延片測溫儀
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