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詳細摘要： 在進行晶圓測試時，需要MSA晶圓加熱載臺具有設置表面溫度的功能，特別是可以從常溫到高溫范圍內設置的卡盤，以便再現(xiàn)裝入狀態(tài)或進行加速測試。