江西專業(yè)愛德華干泵維修  

江西南昌愛德華干泵維修
南昌縱鵬機(jī)械設(shè)備有限公司專業(yè)從事edwards干泵維修，正規(guī)的維修工廠，擁有完整的維修SOP。Edwards iXH1210HT愛德華干泵維修保證質(zhì)量，edwards干泵iXH1210HT維修基本無返修狀況，edwards真空泵維修收費(fèi)合理，edwards真空泵維修服務(wù)品質(zhì)到位，是供應(yīng)商理想的選擇！
edwards iXH系列干泵產(chǎn)品是Edwards的市場iH產(chǎn)品的換代升級，為嚴(yán)苛制程能力樹立了新標(biāo)準(zhǔn)，它在世界上的許多300mm半導(dǎo)體和平板工廠內(nèi)通過提高制程可靠性實現(xiàn)低擁有成本?？蓾M足 FPD、太陽能、半導(dǎo)體和LED制造業(yè)中日益提高的氣體流量要求的完美大容量干泵和增壓泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外，這些泵還配備多種特性以確保在嚴(yán)苛制程中具有大可靠性。
edwards iXH泵采用模塊化設(shè)計，符合 當(dāng)今的制程要求，并且對于前沿工廠中不斷涌現(xiàn)的應(yīng)用挑戰(zhàn)有著路線明確的應(yīng)對計劃。
應(yīng)用
半導(dǎo)體的目標(biāo)應(yīng)用包括：
PECVD
高 K
低 K
SACVD
LPCVD
ALD
EPI
FPD 的目標(biāo)應(yīng)用包括：
PECVD
TCO
刻蝕
傳輸腔

愛德華干泵維修主要特性和優(yōu)勢：
針對*的EPI和太陽能制程大幅提高了氫氣抽取速度。
大容量干泵和增壓泵提供擴(kuò)展的制程窗口以提高產(chǎn)量。
占地面積更小，高度更低，便于在任何工廠中安裝。
符合主要的標(biāo)準(zhǔn)，包括UL、CE 和 S2?？梢允冀K如一地使用或省略不用。
愛德華干泵維修小結(jié)：
1.必須先泵浦外觀現(xiàn)象是否有破損，如有破損需告知使用單位。
2.通電之前還得通水，通水之前必須檢測你所有的接頭是否有漏水現(xiàn)象，以免燒毀電路板及馬達(dá)。
3.拆解泵浦，拆解之前必須分清楚螺絲部位，長度，大小，以免組裝時發(fā)生錯誤。
4.拆解過程中必須要細(xì)心，轉(zhuǎn)子是否有磨損，蓋板是否有損傷，缸璧是否有劃傷。
5.拆解時有的是帶控制電箱，有的是沒有的，所以特別分清楚，控制部分特別注意，不要損壞電路板之內(nèi)的。
6.拆解完畢之后我們要清洗，噴砂，烘烤，組裝，所以拆解時配件必須擺放整齊，以至于組裝時方便。
7.用超聲波清洗機(jī)將所有的零件放在里面將其零件清洗，清洗完畢之后，在放入烤箱烘烤。
8.噴砂，噴砂有幾種噴砂機(jī)，如果是濕式噴砂機(jī)更為方便，所有的配件及腔體，蓋板都檢查完畢。
9.組裝過程中必須檢查所有的轉(zhuǎn)子尺寸是否達(dá)標(biāo)，符合這臺真空泵使用尺寸，這個會直接導(dǎo)致你維修真空泵質(zhì)量是否達(dá)標(biāo)。
10.組裝過程中軸封及軸承組裝必須到位，如果不到位會影響你真空泵維修質(zhì)量及使用壽命。
11.組裝過程中發(fā)現(xiàn)有轉(zhuǎn)子及軸套尺寸不到位應(yīng)該停止馬上處理，工作第1次做到位，不必返工。
12.裝好之后我們要進(jìn)行調(diào)試間隙。
13.調(diào)試間隙時你螺絲需要按照標(biāo)準(zhǔn)鎖多少磅就是多少磅，以免使用過程中松動導(dǎo)致真空泵卡死。
14.間隙調(diào)試完畢，就組裝馬達(dá)及管路，加油測試。
15.測試也是關(guān)鍵時候，也是對你勞動成果的肯定。
16.測試之前確定電壓，以便電機(jī)燒毀，確認(rèn)無誤在通電。
17.通電之前先測試電機(jī)是否正傳還是反轉(zhuǎn)，如果反轉(zhuǎn)三根線當(dāng)中，隨便兩根互換及可。
18.相位及電壓對了之后，我們可以接真空表頭，看看真空度及，抽速是否達(dá)標(biāo)。
19.沒有通氣，通水時不宜測試時間過長，以便于電機(jī)溫度過高導(dǎo)致燒毀。
20.上架時有的氣管接頭，水管接頭必須檢查，是否有劃傷，如有需處理及更換。
21.上架好之后通水，通電，通氣所有都檢查完畢，方可通電。
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